Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP+ #9116736 à vendre en France
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AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura MxP + est un réacteur monobloc à haut débit conçu pour la production de micro-dispositifs avancés. L'équipement MxP + est une plate-forme de processus polyvalente qui permet à l'utilisateur de développer et d'utiliser un large éventail de processus. Le MxP + dispose d'une grande chambre de réacteur à lit plat, produisant une répartition uniforme de la température et du plasma sur la surface du substrat. Le réacteur MxP + contient deux modules de procédé, qui peuvent être utilisés indépendamment ou en combinaison. Le premier module est le Standard Process Module (SPM), qui permet le dépôt de couches minces en utilisant des techniques de dépôt bien caractérisées, telles que le dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD). Le deuxième module est le Advanced Process Module (APM) qui fournit des fonctionnalités élargies pour des capacités de processus plus avancées. L'APM peut être utilisé pour le dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD) et le dépôt en couche atomique (ALD). Le réacteur MxP + est capable de fonctionner avec une variété de gaz et de matières réactives, y compris le silane, l'oxygène et l'ammoniac. Le système est entièrement compatible avec les deux processus et les résultats du processus peuvent être transférés entre les deux modules. Cela permet aux utilisateurs de personnaliser leurs processus, tout en maintenant des résultats de haute qualité. Le MxP + offre une large gamme de caractéristiques de sécurité, y compris une centrale d'inertage, une machine d'évacuation des gaz, un outil de prévention de l'oxydation et un outil de surveillance de la température. Ces caractéristiques se combinent pour offrir un environnement d'exploitation sûr et prévenir toute détérioration ou contamination du substrat. Le MxP + est également conçu avec une technologie de surveillance et de contrôle sophistiquée. Cette technologie permet de suivre et d'ajuster dynamiquement un large éventail de paramètres de procédé, permettant un contrôle précis des taux de dépôt, de l'uniformité des dépôts et des températures des chambres. AMAT Centura MxP + est idéal pour les processus nécessitant un haut débit et des résultats de haute qualité. C'est le choix idéal pour un large éventail de champs, des semi-conducteurs aux puces à mémoire et des LED aux cellules solaires. Il est capable de se déposer à travers une large gamme d'épaisseurs et peut être utilisé pour créer des dispositifs nano-échelle avec une reproductibilité claire, assurant des résultats de qualité constante.
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