Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP #9290475 à vendre en France

MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura MxP est un réacteur avancé à dépôt chimique en phase vapeur (PECVD) en zone souple conçu pour le traitement et la production de dispositifs semi-conducteurs. Le réacteur AMAT Centura MxP est capable de traiter jusqu'à six plaquettes simultanément et offre une plate-forme fiable et rentable pour la production de films minces et d'empilements multicouches. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura MxP dispose d'un contrôle plasma avancé, d'une homogénéité de température précise et d'une optimisation des procédés à la volée pour garantir une uniformité et une qualité de film supérieures. Le réacteur est capable de produire une variété de matériaux, dont SiO2, Si3N4, SiN, Ta2O5, TaN et Al2O3. Le réacteur est équipé de deux sources de plasma indépendantes, permettant la formation d'empilements multicouches et de procédés de découplage multiples pour des films à compositions de matériaux complexes. Centura MxP utilise plusieurs géométries pour assurer une homogénéité de température précise sur toute la surface de la plaquette. Le rapport d'aspect élevé du réacteur permet une gravure et un dépôt uniformes sur toute la surface de la plaquette. Ceci permet une gravure et un dépôt uniformes des caractéristiques de rapport d'aspect élevé, telles que les tranchées et les structures combinées. Le réacteur dispose également d'un contrôle de température avancé, avec débit de gaz réglable, et une séquence d'étalonnage automatique basée sur la température pour la précision et la répétabilité. Il est également équipé d'un système de détection des fuites sous vide pour une sécurité et une fiabilité accrues. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura MxP offre la plus grande fiabilité du procédé, la plus grande performance du procédé et le meilleur rapport coût-efficacité pour le dépôt et la gravure précis des couches minces. Il est bien adapté à la fabrication de MEMS, d'interconnexions avancées et de plusieurs autres applications de micro-fabrication difficiles. La conception ultramoderne du réacteur permet une courte courbe d'apprentissage et une intégration rapide dans n'importe quelle installation de production.