Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Phase II #9281493 à vendre en France
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MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura Phase II est un équipement de réacteur à débit moyen très efficace qui fournit une haute qualité, la répétabilité des processus et la productivité dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. AMAT Centura Phase II est spécialement conçu pour la fabrication à haut volume de procédés semi-conducteurs avancés et est utilisé pour diverses applications telles que : gravure de grille, dépôt diélectrique à entrelacs (ILD), superpositions d'arrêt de gravure, intégration du remplissage des tranchées de nitrure et couches de barrière de diffusion de type n. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La phase II de Centura est capable de traiter un large éventail de procédés de dépôt à haut volume, permettant la production de dispositifs aux structures complexes et aux niveaux élevés de répétabilité et de fiabilité. La flexibilité du processus du réacteur permet aux clients de s'adapter à un large éventail d'objectifs de processus, par rapport aux solutions d'équipement classiques. Centura Phase II est équipé d'un système breveté à double cassette, avec des temps de chargement et de déchargement réduits (jusqu'à 15 secondes) sans aucun compromis en matière d'intégrité sous vide. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura Phase II est en outre équipé d'un module de contrôle de la température multi-zones qui permet une gestion thermique précise, une optimisation de la température et une répétabilité précise. AMAT Centura Phase II offre plusieurs fonctionnalités supplémentaires, y compris une gravure de post-dépôt de recyclage rapide qui fournit une très grande efficacité de débit et de processus. De plus, son contrôle en mode impulsionnel robuste permet un contrôle en temps réel précis de l'épaisseur du film sans aucun réajustement des paramètres de réaction pour la fabrication de films de haute qualité. En outre, l'unité de livraison entièrement automatisée combine plus d'une douzaine de paramètres pertinents au processus et peut être surveillée et configurée à distance à partir d'un PC hôte. En plus de cela, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura Phase II comprend une plate-forme matérielle robuste avec la pression de la chambre de processus égalisée et la performance globale de la machine, permettant d'améliorer la température de nettoyage de la chambre, le temps de cycle et l'uniformité de dépôt. Centura Phase II prend également en charge les charges de travail par lots et de pointe ainsi que les cycles d'exploitation prolongés, avec une fonction d'arrêt réduite. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura Phase II est une solution idéale pour la fabrication de semi-conducteurs à haut volume et est très fiable pour produire des appareils de haute qualité et fiables avec une excellente répétabilité du procédé. L'outil offre un débit élevé, un fonctionnement à basse température et des modifications rentables selon les besoins.
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