Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura PVD #9266535 à vendre en France
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ID: 9266535
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
Sputtering system, 8"
Chamber: GAMMA 2 TiN
1996 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura PVD est un équipement de dépôt physique en phase vapeur (PVD) conçu spécifiquement pour la production d'appareils électroniques de pointe. Le système est conçu pour fournir une capacité de processus multiple dans une seule chambre, avec certains modèles ayant cinq options de configuration ou plus. Il s'agit d'un réacteur intégré constitué d'une source de dépôt et d'une chambre principale. La chambre principale de la machine AMAT Centura PVD est un outil sous vide, utilisé pour placer une plaquette d'échantillon dans l'actif. La chambre est maintenue à une pression de base pour permettre un écoulement régulier de matière des plaquettes de source. La chambre est également constituée d'un passage électrique qui est utilisé pour alimenter les éléments du modèle, tels que les sources de faisceau d'électrons, le filament et le mandrin. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'équipement en PVD Centura est alimenté par un large éventail de sources de dépôt. De préférence, il s'agit de sources de faisceau d'électrons, qui prélèvent l'énergie laser du filament et la déposent sur la surface de la plaquette. Le faisceau d'électrons peut être ajusté pour faire varier la profondeur de pénétration et la sélectivité du matériau déposé. Des sources de dépôt secondaires, y compris des sources résistives et RF, peuvent être utilisées pour produire des dépôts multicouches. Le maintien du substrat dans le système est assuré par l'intermédiaire d'un mandrin à vide qui est monté sur un bras manipulateur électronique. Ceci permet le mouvement du mandrin pendant le cycle des opérations, ainsi que le positionnement manuel entre les opérations. De plus, le mandrin est équipé d'une jauge ionique, qui donne des lectures précises de la pression de la chambre pour assurer un haut niveau de stabilité tout au long du processus de dépôt. Enfin, les différentes sources et composants de l'unité PVD Centura sont complétés par une gamme d'options et de commandes logicielles de contrôle. Cela inclut des systèmes avancés d'interface utilisateur pour un meilleur contrôle de la machine, des options pour surveiller les paramètres du processus, et la possibilité de faire fonctionner plusieurs systèmes à partir d'une interface distante. Dans l'ensemble, AMAT/APPLIED MATERIALS L'outil Centura PVD est un atout complet adapté à une variété d'environnements de production. Le modèle permet un éventail de processus de dépôt différents, garantissant la qualité et la précision de la production. En outre, avec des logiciels de contrôle personnalisables et des options de source avancées, les utilisateurs peuvent obtenir un plus grand contrôle sur leurs processus.
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