Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura RTP XE #9238004 à vendre en France
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ID: 9238004
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 8"
NBLL
(2) XE Chambers
ATM
Missing parts:
Serial isolate BD
OTF Center finder BD
Floppy driver
Hard disk drive
VGA Card
I/O Expansion card
(2) CRT Monitors
LL Door & Mapping kit
M/F Robot upper / Lower motor
OTF Emitter bank
SCR Driver panel cover
6-Wafer lift pins
(2) Edge rings
(2) Support cylinders
(2) Lift pin bellows
Lift pin cap
(2) SEKIDENKO Temperature controllers
Pumping line from chamber to isolation V/V
Chamber rotation vector controller and PCB kit
Loadlock dry pump
(6) Chamber ATM lid clamps
Damaged parts: (3) Color signal towers
1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura RTP XE est un réacteur de pointe riche en fonctionnalités conçu pour des applications critiques dans les secteurs des semi-conducteurs et des écrans plats. Le modèle XE est composé d'une chambre haute dépression à pression atmosphérique combinée à un processus avancé de wafer et d'un équipement de gestion de la température. Ce système intégré contient un certain nombre de fonctionnalités conçues pour optimiser l'efficacité et la répétabilité des processus. La chambre du réacteur a un volume interne de 50 litres et est réalisée en un matériau à paroi résistive pour assurer une excellente homogénéité thermique et radiante. Le réacteur comprend un chauffage double face permettant des températures de traitement uniformes jusqu'à 1000˚C pour des opérations à très haut débit ou pour des applications spéciales nécessitant des températures de 2000˚C. Le XE est équipé d'une option de dérivation de l'azote permettant une purge rapide de l'atmosphère de la chambre avec de l'azote de haute pureté ou d'autres gaz. Il comprend également une grande variété d'options pour le contrôle du processus, y compris un moniteur de pression, mélangeur de gaz de procédé et moniteur de sécurité du débit de gaz. Le XE comprend également une unité avancée de gestion de la température des plaquettes, permettant une uniformité maximale pendant les opérations d'échauffement et de traitement. La machine de gestion de la température assure la cohérence entre les substrats et tout au long de plusieurs étapes de processus. L'outil d'automatisation des processus du XE est conçu pour augmenter le débit et protéger les caractéristiques du chemin primaire telles que l'exclusion du bord de tranche. Il intègre un certain nombre de dispositifs de sécurité tels que des emboîtements pour prévenir les ouvertures accidentelles, des alarmes de panne et un moyen de contrôle PID en boucle fermée. Ensemble, ces caractéristiques offrent un niveau élevé de protection contre les expositions non intentionnelles aux rayonnements. AMAT Centura RTP XE est un outil idéal pour une variété d'applications d'affichage à semi-conducteur et à écran plat. Son modèle avancé de gestion de la température des plaquettes, ses capacités d'automatisation des processus et son large éventail de fonctionnalités facultatives se combinent pour fournir un outil optimal aux personnes engagées dans des opérations critiques.
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