Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura RTP XE+ #9282073 à vendre en France
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ID: 9282073
Style Vintage: 2000
Rapid Thermal Processing (RTP) system
2000 vintage.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura RTP XE + est un outil de traitement thermique rapide à basse pression des plaquettes semi-conductrices. Ce réacteur utilise Rapid Thermal Cycling (RTC) pour activer et désactiver rapidement les caractéristiques de conception dans la plaquette, permettant la création de structures semi-conductrices de haute performance. Le type XE + est un système de dépôt en phase vapeur de métaux organiques (MOCVD) qui est conçu pour permettre aux utilisateurs de créer des conceptions complexes en utilisant des caractéristiques plus petites que les réacteurs antérieurs. Le XE + le réacteur utilise l'ultra-haute pureté C2-F6-PF6 les gaz pas seulement pour exactement créer des traits, mais aussi créer l'uniformité à travers les courses multiples. La source de chaleur installée horizontalement et le débit de gaz de très haute qualité du réacteur, associés à un système intégré de régulation de la température, lui permettent d'atteindre des niveaux de précision, de répétabilité et de vitesse sans précédent. Ceci est obtenu par la zone de température chauffée au quartz qui peut maintenir des températures précises jusqu'à 1000 ° C, et les étapes d'indexation qui déplacent les plaquettes et les tiroirs à quartz dans une direction horizontale pour obtenir une plus grande uniformité de température lors du cyclage. Ce chauffage et refroidissement rapide et précis permet des cycles thermiques de sous-secondes, permettant un traitement à faible budget thermique. En termes de fonctionnement, le XE + peut traiter jusqu'à deux plaquettes de 125 mm à la fois, et est entièrement automatisé avec des concepteurs ayant le contrôle de tous les paramètres au sein du réacteur. Le XE + dispose également d'un contrôle de précision, d'une purge inerte des gaz et d'une détection automatisée des points d'extrémité, ce qui améliore encore la précision et la rapidité du processus. De plus, le XE + est équipé d'un système de sécurité qui n'est activé que lorsque les portes d'accrochage arrière sont fermées et verrouillées. Dans l'ensemble, AMAT Centura RTP XE + est un outil incroyable pour effectuer un traitement thermique rapide sur des plaquettes semi-conductrices. Sa conception robuste, son contrôle de précision et ses fonctionnalités automatisées en font un véritable changeur de jeu pour créer des modèles de semi-conducteurs performants.
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