Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Super-E #9252317 à vendre en France

ID: 9252317
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
Etcher, 8" Install type: Thru-The-Wall (TTW) Cassette interface: (2) Narrow body load locks Fast wafer mapping Main tool: Wafer handling robot Signal lamp tower Buffer lid open / Close assembly (Manual) Wafer on blade sensor Optical endpoint system Chambers: Ch-A, B, C, & D: Super-E oxide Ch-E: Blank Ch-F: Orienter Chamber configuration: EBARA 305W Turbo controller EBARA ET300WS Turbo pump Chamber: P/N 0010-39736 REV A Electrostatic chuck HERF Match Slit liner door Autobias Chamber liner Cathode Gas box / Gas pallet: Standard gas panel interface MFCs: AERA FC-D980C CO 300 SCCM C4F8 20 SCCM (TYLAN FC-2900 On chamber C) N2 20 SCCM O2 100 SCCM CF4 100 SCCM CHF3 150 SCCM (TYLAN FC-2900 On chamber A) ARS 200 SCCM (AERA FC-D980CS) Gas connection User interfaces: Front side monitor and light pen base System side monitor and light pen base System controller: Equipment rack: (4) ENI OEM-28B RF Generators (Ch-A/B/C/D) Chillers included: B/E AEROSPACE 1231-CCN-DI-001 Dual channel ATS 1231-CCN-DI-001 Dual channel Power supply: 208 VAC, 4-Wire, 3 Phase CE Marked 2000 vintage.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Le Centura Super-E est un équipement de réaction qui combine un contrôle supérieur de la température et du processus avec une conception sophistiquée pour une efficacité et une fiabilité maximales. Ce réacteur utilise un système de recirculation en boucle fermée pour maintenir des températures constantes à l'intérieur de la cuve, tout en fournissant des résultats uniformes et reproductibles. L'unité de chauffage est faite de quartz, qui est jusqu'à trois fois plus durable et efficace que d'autres matériaux. Cette machine de chauffage à quartz est accordable électroniquement et permet un contrôle précis de la température à plat sur une large gamme de points de consigne. L'outil de chauffage est encore amélioré par l'isolation thermique dense et le milieu de transport thermique recirculé pour réduire la perte de chaleur. La chambre de procédé est conçue pour permettre le traitement de volumes précis de réactif, assurant des résultats cohérents et reproductibles. Le couvercle est en quartz de haute pureté et est conçu avec une capacité unique d'isolation du procédé qui minimise le contact entre les gaz de procédé et l'environnement. La chambre de procédé contient également un épurateur à gaz à haut rendement qui élimine les sous-produits corrosifs et dangereux de la chambre de procédé. L'installation standard comprend une gamme complète de dispositifs de surveillance et de sécurité qui surveillent les conditions environnementales dans la chambre. Cela comprend la surveillance en temps réel des produits chimiques, de la pression et de la température pour améliorer la sécurité des procédés. L'actif comprend également un modèle d'alerte spécialisé qui alerte les opérateurs sur les problèmes potentiels de processus, contribuant ainsi à prévenir les incidents catastrophiques potentiels. AMAT Centura Super-E comprend un logiciel de contrôle automatisé des processus qui permet un contrôle continu et précis des processus. Ce logiciel permet un étalonnage automatisé des paramètres du processus et du produit, une efficacité et une fiabilité accrues du processus. Ce réacteur polyvalent et durable offre une gamme de tailles et de configurations pour répondre aux besoins de production. L'équipement est conçu pour fournir des résultats répétables dans le plus court laps de temps, avec un minimum d'entretien requis. Ce réacteur de production supérieur est idéal pour des environnements de production complexes et exigeants.
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