Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP CVD #9036577 à vendre en France

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ID: 9036577
Etcher (3) Chambers.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura Ultima HDP CVD est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur à haute densité (HDP) conçu pour une production à grande échelle. L'équipement permet des taux de dépôt 10x plus rapides que les réacteurs CVD traditionnels, permettant une production à haut débit. La chambre de processus du système est équipée d'un ensemble de contrôle de processus (PCU), intégré dans la paroi de la chambre de processus, ce qui facilite et surveille le processus. Le PCU aide à maintenir l'uniformité des dépôts et à contrôler le processus tout au long du dépôt chimique en phase vapeur. La chambre de procédé abrite deux électrodes plasma parallèles pour aider à maintenir une répartition uniforme et homogène des espèces réactives. L'unité CVD d'AMAT Centura Ultima HDP dispose également d'une machine de surveillance in situ qui donne une lecture précise et immédiate du processus. Cet outil dispose d'un outil de chargement à double filament pour contrôler la pression et la température. Il dispose également d'un support automatisé pour la formation intermédiaire réactive et la mesure. Le réacteur dispose également d'un contrôle unique de la température et du profil de pression in situ, qui est conçu pour offrir le plus haut degré de contrôlabilité du procédé. Ce modèle permet d'ajuster les conditions à l'intérieur de la chambre de procédé pendant le dépôt pour obtenir une uniformité et des performances améliorées. En outre, l'équipement a intégré des systèmes de surveillance et de rétroaction qui facilitent une plus grande optimisation. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le système HDP CVD Centura Ultima est conçu pour être très fiable et compatible avec une large gamme de matériaux, y compris les métaux, les diélectriques, les polymères, les produits organiques et leurs combinaisons. L'unité a une longue espérance de vie et est capable de travailler pendant des milliers d'heures. Dans l'ensemble, la machine CVD Centura Ultima fournit une uniformité de dépôt exceptionnelle, un dépôt à grande vitesse et un contrôle des procédés. C'est une méthode extrêmement efficace et fiable de dépôt de CVD, et elle est capable de répondre aux exigences de la production à haut débit.
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