Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP #9176603 à vendre en France
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ID: 9176603
Taille de la plaquette: 12"
CVD System, 12"
Includes:
SIP Ta Chamber
CU Chamber
Preclean chamber.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura Ultima HDP est un réacteur à procédés avancés à plusieurs chambres, conçu pour répondre aux besoins de l'environnement moderne de fabrication de semi-conducteurs. Le réacteur est conçu pour fournir un débit élevé, avec des capacités avancées de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et une multitude d'options d'automatisation. L'équipement est conçu pour un débit rapide, avec des vitesses de rampe allant jusqu'à 10 000 ° C/minute, et est capable d'atteindre des pressions allant jusqu'à 10 Torr avec des pressions internes faibles, assurant un environnement de processus propre. AMAT Centura Ultima HDP dispose de composants qui sont construits pour durer, y compris les parois de carbure de silicium et la dernière technologie de résonateur à cristaux de quartz, fournissant la fiabilité et la répétabilité des paramètres de processus. MATÉRIAUX APPLIQUÉS CENTURA ULTIMA + HDP offre au chimiste et à l'ingénieur une flexibilité de processus, avec une gamme de paramètres réglables qui peuvent être manipulés à partir de l'écran tactile LCD. Ce dispositif donne aux ingénieurs un contrôle total du processus CVD, leur permettant de définir différents profils de pression et de température pour chaque chambre, avec une option Pulsed-RF disponible pour améliorer la vitesse d'étape et l'uniformité de dépôt. Ce système est conçu pour le dépôt d'oxydes, de nitrures et de films à base de silicium, ce qui le rend idéal pour la production de composants complexes à base de semi-conducteurs. CENTURA ULTIMA + HDP dispose également d'une unité de livraison de gaz avancée, offrant un contrôle précis du débit de gaz, avec la possibilité de fixer des températures différentes pour chaque gaz afin d'assurer la répétabilité et la cohérence. La machine dispose également de multiples dispositifs de sécurité, y compris des capteurs thermiques et un soulagement de surpression, assurant la sécurité en cas de dégagement de gaz. Centura Ultima HDP fournit des capacités de dépôt de pointe, permettant aux ingénieurs de produire des composants de haute qualité avec la cohérence et la répétabilité nécessaires pour les dispositifs semi-conducteurs d'aujourd'hui.
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