Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP #9206450 à vendre en France

MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura Ultima HDP est un réacteur à plasma haute densité (HDP) de nouvelle génération conçu pour la fabrication avancée de semi-conducteurs. Le réacteur est capable de traiter des plaquettes de haute qualité avec un risque minimal de contamination et un faible coût de propriété. Il combine des conceptions innovantes, une technologie de pointe et une précision élevée pour permettre des performances plasmatiques de meilleure qualité. La plate-forme HDP du Centura Ultima utilise une variété de configurations de chambres et de technologies de processus. Il s'agit notamment des procédés de gravure d'ions réactifs (RIE), de plasma à couplage inductif (ICP) et de plasma à haute densité (HDP). Le procédé HDP utilise deux sources d'énergie indépendantes, dont l'une est une source de plasma haute densité qui peut atteindre des températures supérieures à 10 000 ℃. Les autres sources sont des sources d'énergie polyvalentes qui sont utilisées pour divers processus atmosphériques, comme la cendre et le nettoyage du plasma. Pour assurer un niveau de dopage cohérent, AMAT Centura Ultima HDP emploie un équipement avancé d'éclairage UV profond. Ce système UV profond réduit la variation du niveau de dopage et améliore la reproductibilité du profil de dopage. De plus, le réacteur Ultima HDP peut fonctionner à une plage de pression étendue allant jusqu'à 7 Torr, ce qui permet le traitement de couches diélectriques d'oxyde. Le réacteur HDP utilise une variété de systèmes de surveillance in situ qui fournissent une rétroaction en temps réel sur le contrôle des paramètres. Ce contrôle en temps réel permet une optimisation rapide des paramètres du processus, assurant la productivité la plus élevée. L'unité comprend également un capteur de salle blanche hautement sensible qui utilise une machine de détection chimique à faible côte pour détecter toute présence de particules ou de gaz. Le réacteur Ultima HDP est conçu pour une efficacité maximale. Il est équipé d'une turbomachine intégrée à haut rendement pour le vide des procédés, d'une variété de systèmes de contrôle des procédés et des salles blanches et d'un puissant groupe motopropulseur. En outre, l'outil est équipé d'un système de refroidissement et de chauffage intégré qui permet de fonctionner à de larges plages de température sans compromettre les performances. En conclusion, APPLIED MATERIALS CENTURA ULTIMA + HDP est un modèle avancé et économique de traitement du plasma capable de fournir les plus hautes performances de n'importe quel réacteur HDP sur le marché. Il est capable de produire des résultats de haute qualité avec un risque minimal de contamination et un faible coût de propriété. En outre, le réacteur est conçu pour une efficacité maximale et équipé de systèmes de surveillance de pointe et de motorisations puissantes. Ce réacteur est idéal pour toute installation de fabrication de semi-conducteurs cherchant à porter leurs capacités de production au niveau suivant.