Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus #9046180 à vendre en France

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ID: 9046180
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1999
CVD, 8" Main body: 3-Chamber Signal tower: 3-Color Door interlock sensor Wafer OF type: Falt type Process chamber: Dome heater cooling type Ceramic ESC: WTM Top mount remote plasma Generator type: ENI Local match box Heat exchanger: SMC Dual IHC control Main frame: Loadlock body: Wide Wafer sliding sensor Cool chamber slot: 8-slot HP Extend robot: One ARM Gas panel: Cabinet exhaust: Top Single line drop Gas line feed: Top Monitor: Third: Station Maint: Others Missing parts or Detaching parts list: (3) Gas ring 0010-02616 (2) Silt valve plate 0010-20021 (1) TGV trottle valve 0020-12521 (1) RPS Al GAS line 0050-46867 (2) Ceramic dome 0200-18062 (3) TGV sol v/v ass'y 3870-01649 (1) Cold loop flow sensor (1) NF3 MFC (2L) (1) Top Ar MFC (50 sccm) Packing list: Main system Power AC rack Rf generator rack(eto)_1 Rf generator rack(eto)_2 Rf generator rack(eto)_3 Rf generator rack(eto)_4 Rf generator rack(eto)_5 SMC chiller Monitor Currently installed 1999 vintage.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura Ultima Plus est un réacteur puissant, entièrement automatisé, à haut débit de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) conçu pour la production de films minces concentrés et de haute qualité. Cet équipement est doté de la technologie CVD la plus récente pour le dépôt d'une grande variété de matériaux, y compris des diélectriques ultra-minces, des surfaces semi-conductrices et métalliques. Ce système utilise les méthodes de contrôle des procédés les plus récentes, telles que les gaz avancés et le contrôle de la température, pour maximiser le débit et améliorer la productivité et la reproductibilité. En outre, l'unité permet la production d'une variété de nouvelles nanostructures et microstructures pour permettre de nouvelles architectures de dispositifs. Au cœur de la machine se trouve un réacteur CVD multi-zones innovant, une conception à trois chambres avec une seule grande chambre de lot. Cette chambre permet le dépôt très uniforme de divers matériaux sur une large gamme de tailles de plaquettes, allant de 3 « à 8 ». L'outil est également capable de manipuler un large éventail de recettes de dépôt, y compris les précurseurs en poudre et en PLD pour améliorer le contrôle des procédés. Les taux de dépôt sont encore optimisés grâce à des systèmes avancés de distribution de gaz et à une rotation rapide des plaquettes. AMAT Centura Ultima Plus est également capable de contrôler très précisément l'épaisseur et la formation de structure complexe, des fonctionnalités CMCVD aux fils à motifs. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura Ultima Plus dispose également de chargement et de déchargement automatisés de plaquettes, avec un actif avancé de purge d'azote assurant un environnement ultra-propre dans lequel éviter la contamination des plaquettes. En outre, le modèle utilise un équipement optique de pointe pour la surveillance en temps réel des conditions de processus. L'installation d'un seul Centura Ultima Plus peut traiter des milliers de plaquettes par jour et les rendements sont maximisés grâce à la mise en œuvre de systèmes avancés de traitement et de récupération des gaz d'échappement. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura Ultima Plus est un système idéal pour la production de films fins concentrés, de nano et de microstructures de haute qualité. L'unité fonctionne exceptionnellement bien dans un large éventail d'environnements de production et ses capacités d'automatisation maximisent la vitesse et l'uniformité des processus tout en fournissant de la valeur à votre ligne de production.
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