Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus #9065273 à vendre en France
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Vendu
ID: 9065273
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1999
Etcher, 8"
(3) Chambers
Flat type
Door interlock sensor
Dome heater cooling type: yes
Ceramic ESC: WTM
Top mount remote plasma: Yes
Local match box: Yes
Heat exchanger: SMC
Dual IHC Control: Yes
Centura1 Ph 2
Wide L/L
Wafer map sensor
Wafer sliding sensor
Cool chamber slot: 8-slot
HP Extend robot: One arm
Cabinet exhaust: Top
Single line drop: Yes
Gas line feed: Top
Monitor, third: Station
SMC Chiller
Leybold Mac 2000 TMP
Alcatel ATH2300
ENI generator
1999 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura Ultima Plus est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) conçu pour une température, une pression et une uniformité de gaz optimales. Ce réacteur CVD de pointe a été conçu pour fournir des performances de haute précision dans une variété de procédés de dépôt. Le réacteur AMAT Centura Ultima Plus dispose d'un équipement de contrôle thermique avancé, avec deux zones de température indépendantes pour une homogénéité optimale des réactifs et un contrôle des processus. Le réacteur utilise de multiples procédés thermiques uniformes et directs qui garantissent des performances fiables et de grande précision. En outre, la chambre de procédé est chauffée des deux côtés, accélérant les vitesses de chauffage et de refroidissement pour assurer l'uniformité de l'environnement de dépôt. Le réacteur utilise également un système avancé de charge électrostatique, qui peut également être utilisé pour contrôler la vitesse et la quantité de particules provenant du procédé de dépôt. Ce procédé, combiné à une conception efficace des outils de grappes, permet un dépôt de haute qualité avec une efficacité maximale. En outre, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura Ultima Plus est équipé d'une unité de contrôle de température à double capteur pour fournir un contrôle de température précis pour différents gaz et réactifs. La machine est conçue pour fournir un profil de température très précis et répétable sur l'ensemble du substrat, assurant l'uniformité et la précision des processus de dépôt. Centura Ultima Plus dispose également d'un contrôle de gaz multi-zones, permettant un contrôle précis du débit de gaz pour optimiser le processus de dépôt. Cette caractéristique de conception assure que les réactifs maintiennent leur pureté de réactif recommandée, assurant un processus de dépôt fiable et efficace. Enfin, AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus dispose d'une chambre de traitement jusqu'à 2000cc, conçue pour une efficacité maximale et un volume optimal. Son tube de réacteur en quartz et les parois de la chambre de traitement en acier inoxydable sont conçus pour être durables, offrant un contrôle maximal de la température et une qualité de film optimale pendant le processus. Ces caractéristiques font d'AMAT Centura Ultima Plus un réacteur très efficace et fiable pour une variété de procédés de dépôt.
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