Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus #9158337 à vendre en France
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Vendu
ID: 9158337
Taille de la plaquette: 8”
HDP Chamber, 8”
Includes:
Chamber interface parts
Gas pallet
QTY DESCRIPTION P/N
Upper chamber LID:
(1) RPS AX7670-02,06,16,19
(1) RPS Mount kit
(1) AL Gas line 0050-62134
(1) SiH4 Gas line 0050-46867
(1) Top heater 0035-00123
(1) Ceramic dome
(1) ALN Plate modification
(1) Balanced side match modification
(1) DTCU Modification
(1) Cap bank assy 0010-06403
(1) PLC Kit
(1) Ultima plus cover 0010-19262
(1) Top baffle 0200-01009
(0) Nozzles
(1) Top clean feed through 0040-86016
(1) Hinge assy
Lower chamber body:
(1) T/V Body 0020-18273
(1) Turbo throttle valve
(1) Turbo throttle Driver 0010-01369,19238
(1) Rough throttle valve 0010-09035
(1) Turbo isolation valve 3870-00117
(1) Fore line and gas line
(1) Bias match
(1) Ceramic collar 0200-18109
(1) Ceramic cover 0200-18081
(1) Cathode assy
(1) Cathode misc
(1) ESC Refurbish
(1) NC Gate valve 3870-00037
(2) RF Coaxial cable 0190-18062
(1) Ebara 1600 Turbo pump / Controller ET1600
(1) 1000 Torr manometer 1350-01131
(1) 50T Interlock switch 1270-01814 (E48W-H38)
(1) Chamber XDCR press .10-100TORR Ass'y 1320-01284 (CV7627A-05)
(1) Frorline XDCR press 10TORR Ass'y 1350-01285
(2) Gas spring 3780-02273
(1) Seal assy 3700-02320
(1) Throttle valve teflon ring 0200-18268
(1) Dual he manifold (4 Valve) 0050-40927
(1) DUAL IHC ASS'Y
(1) ORING
(1) Forline isolation valve 3870-02890 (KAV-150-P-10)
Main frame:
(1) Chamber pneumatic assy 0010-17301
(1) Chamber tray bd 0100-18062 or 18064/65
(1) Chamber tray kit 0242-01931
(1) AC Box kit 0242-70228
Generator:
(1) ENI Generator rack
(1) Seriplex bd 0190-35765/0190-35651
(1) Distribution bd 0100-18043
(1) Seriplex back plane 0190-09286
(1) Cardcage
Gas panel:
(1) Gas panel
(1) Gas panel refurbish
(1) Seriplex bd 0190-35653/0190-35762/0190-35651
(1) Distribution bd 0100-35124
(1) Seriplex back plane 0190-09286
(1) Cardcage
MISC:
(1) Clean, fitting, clamp
(1) Chamber frame
(1) MISC (GFCI, cable, accessory).
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura Ultima Plus est un réacteur de gravure et de dépôt de pointe conçu pour être utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés. Cet équipement automatisé offre des performances supérieures, un meilleur débit et une plus grande uniformité que ses prédécesseurs. La chambre du réacteur est conçue pour être extrêmement étanche au vide de manière à pouvoir fonctionner à des pressions de base de 5E-7 torr, avec une capacité d'atteindre des pressions aussi faibles que 1E-8 torr. AMAT Centura Ultima Plus offre également une large gamme de réglages de température, jusqu'à 900 ° C, et est compatible avec une variété de gaz de gravure et de dépôt, y compris l'hydrogène, le chlore, l'azote, l'oxygène et l'argon. Le système automatisé de manutention des plaquettes de ce réacteur assure un transfert sûr et efficace des plaquettes. Il dispose à la fois d'une plaquette et d'un traitement par lots, ce qui permet à l'opérateur de mettre en place plusieurs processus de gravure séquentiellement. La capacité de balayage d'une seule plaquette permet le contrôle et le traitement à haute résolution de chaque plaquette individuellement. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura Ultima Plus propose également une unité de pompage à vide à vide installée en permanence qui assure des opérations fiables sans nécessiter de maintenance. La pompe à vide de base permet également des temps de pompage ultra-rapides, permettant des temps de traitement qui peuvent être jusqu'à 90 % plus rapides que les processus de gravure et de dépôt traditionnels. Ce réacteur offre également une gamme de fonctionnalités supplémentaires conçues pour promouvoir la précision, la sûreté et la facilité de fonctionnement. Il s'agit notamment d'une machine de recirculation et de mesure des sources liquides, d'un filtre et d'une vanne intégrés, d'un contrôleur logique programmable (PLC) et d'un outil d'acquisition de données qui permet aux utilisateurs de surveiller tous les paramètres du réacteur et de traiter les données en temps réel. Dans l'ensemble, Centura Ultima Plus est un réacteur de gravure et de dépôt automatisé très efficace qui offre un contrôle de processus supérieur et un débit répétable. L'unité est conçue avec la sécurité et le coût à l'esprit, et fournit les caractéristiques puissantes nécessaires pour soutenir les processus avancés de fabrication de semi-conducteurs.
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