Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima X #116359 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura Ultima X est un outil spécialisé conçu pour le dépôt et le traitement de matériaux de haute performance. Ce réacteur est conçu pour une large gamme d'applications de fabrication de semi-conducteurs, y compris la fabrication de transistors à effet de champ (FET) et le dépôt de couches minces. Par rapport aux systèmes de dépôt classiques, l'Ultima X offre un certain nombre d'avantages, y compris des débits plus élevés et des caractéristiques plus petites. Le réacteur Ultima X est un outil vertical, non étanche, ce qui signifie que toute la chambre est montée sur une seule plaque de base afin de minimiser la contamination. Il comprend deux chambres de gravure/dépôt indépendantes, dont une chambre de dépôt chimique en phase vapeur (PECVD) à forte puissance plasmatique et une chambre de dépôt physique en phase vapeur (PVD) à faible résistance, permettant de contrôler individuellement les conditions de traitement dans chaque chambre. Par exemple, la chambre PECVD offre une gamme de températures maximales de 350 à 600 degrés Celsius et une gamme de pression de gaz de procédé de 16 à 300 Torr. La chambre PVD a des températures allant jusqu'à 400 degrés Celsius et une pression de gaz de procédé de 1 à 10 Torr. L'Ultima X dispose également d'un équipement de verrouillage de charge, qui permet de traiter des substrats (typiquement des plaquettes de silicium) sans être exposés à l'air ambiant. Ceci garantit que les substrats ont une contamination minimale avant d'entrer dans la chambre de procédé. De plus, Ultima X prend en charge les techniques avancées de lithographie, telles que la lithographie à double exposition, et la détection d'orientation des plaquettes, qui est utilisée pour permettre des processus étape-et-répétition. En plus d'offrir d'excellentes performances, le système Ultima X offre une gamme de fonctions de sécurité, telles qu'une unité d'arrêt d'urgence automatisée en cas d'erreurs de processus et une machine de contrôle de pression qui empêche l'outil de fonctionner en dehors de paramètres de processus spécifiques. Il existe également un actif de passivation intégré pour les surfaces de la chambre principale, ce qui contribue à réduire les chances de particules ou de résidus. En conclusion, le réacteur AMAT Centura Ultima X est un outil de pointe conçu pour la fabrication de semi-conducteurs de haute performance. Grâce à ses procédés de gravure et de dépôt avancés, il offre des débits plus élevés et des caractéristiques plus petites que de nombreux autres systèmes. Il dispose également de plusieurs dispositifs de sécurité, assurant son fonctionnement sûr et contrôlé.