Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima X #9229987 à vendre en France

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima X
ID: 9229987
Taille de la plaquette: 12
Style Vintage: 2007
CVD System, 12" 2007 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura Ultima X est un outil spécialisé dans les procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et autres procédés chimiques avancés dans l'industrie des semi-conducteurs. Avec des caractéristiques exclusives telles que la technologie Pro- Liner™, alimentée par des algorithmes logiciels avancés, AMAT Centura Ultima X permet un dépôt reproductible et uniforme. L'efficacité maximale de dépôt est obtenue grâce à la fonction Pro- Liner™, qui assure des trajectoires précises et des profils de pression uniformes dans toute la chambre. L'Ultima X utilise également un différentiel de pression sous-atmosphérique unique entre la source de procédé et la chambre, ce qui augmente l'efficacité et l'uniformité du procédé. L'écran avant intuitif de 7 pouces et l'interface utilisateur graphique fournissent un retour en temps réel des paramètres de processus et des pressions de chambre, tandis que la capacité multi-tâches permet aux utilisateurs d'exécuter plusieurs processus simultanément. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura Ultima X offre quatre zones thermiques indépendantes, permettant aux utilisateurs d'effectuer le conditionnement de la chambre, la validation des composants/outils, les amplificateurs chimiques et le traitement multiple. La gamme thermique des quatre zones est plus large que la normale, ce qui permet une plus grande précision et répétabilité lors du traitement des plaquettes avec des températures variables et des procédés chimiques. L'Ultima X est équipé d'un équipement de régulation de température précis, capable de contrôler avec précision les températures dans une plage de 0,5 ° C. En outre, le réacteur offre un contrôle de débit très précis, ce qui permet d'assurer des dosages précis des produits chimiques de procédé. Centura Ultima X offre des spécifications supérieures, telles qu'un diamètre de la chambre de process de 64,5 pouces, une profondeur de la chambre de process de 23,3 pouces, une température de process maximale de 800 ° C, et une pression de process maximale de 10 Torr. Le système de pouvoir est composé de deux aimants de 6 kW, qui tiennent compte vite du chauffage et du refroidissement de la chambre de processus. De plus, le réacteur offre un débit de gaz maximal de 12000 litres/minute et une BTU/h maximale de 2.475. L'Ultima X est conçu pour une sécurité maximale, avec un mode de cycle de chambre propre qui surveille les conditions de processus et purge automatiquement tout processus résiduel/chimie de la chambre, ainsi qu'un dispositif d'alarme qui surveille la pression, les températures et le débit de gaz. Le réacteur comprend une variété de dispositifs de sécurité intégrés, ainsi qu'une machine d'interception automatique qui empêche les utilisateurs d'entrer dans la chambre pendant les procédures dangereuses. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura Ultima X est idéal pour les CVD et autres procédés chimiques avancés, offrant une efficacité, une répétabilité et une uniformité supérieures. Son interface graphique intuitive le rend convivial, tandis que ses fonctionnalités avancées offrent un maximum de sécurité et de précision. Avec une gamme thermique efficace et des contrôles précis de débit/température, AMAT Centura Ultima X peut fournir des résultats de processus exceptionnels.
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