Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima #9078243 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura Ultima est un équipement de dépôt avancé de pointe utilisé dans le traitement des semi-conducteurs. Cet équipement permet aux utilisateurs de traiter une variété de matériaux à couches minces, y compris des diélectriques, des métaux et des matières organiques. Le réacteur est capable de fournir un large éventail de conditions de procédé, y compris des températures allant jusqu'à 1400 ° C, une pression allant jusqu'à 2 bars, et des écoulements jusqu'à 5000 sccm de gaz réactifs. Le réacteur est équipé d'un système d'injection de gaz à haut débit, d'une unité de détection de gaz multiplexée et d'une machine de contrôle de puissance plasma en boucle fermée. AMAT Centura Ultima Reactor dispose d'une chambre de type creuset avec un suscepteur central chauffé qui supporte une large gamme de tailles de substrat. Le suscepteur chauffé est conçu pour maintenir l'uniformité pendant le traitement, assurant l'uniformité des couches minces sur de grandes surfaces de plaquettes. Le chargeur de processus Cruiser-Lift avec outil de transport rapide des plaquettes permet un chargement rapide et facile des substrats et une manutention de cassette à cassette pour un temps d'exécution rapide. En outre, le réacteur Ultima est conçu avec un bras robotisé pour le chargement et le déchargement de plaquettes et un encastrement pour la formation de couches minces. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura Ultima est très polyvalent, capable de traiter des épaisseurs de couches allant de 10nm à 1um et de 2 à 200 nm d'épaisseur diélectrique. Le réacteur est également compatible avec une gamme de matériaux, dont Al, Al2O3 et TiN. Cet équipement dispose de contrôles d'actifs intégrés et de paramètres de processus optimisés, simplifiant le développement et la répétabilité des processus. Le réacteur Ultima est équipé d'un moniteur de processus vidéo haute résolution qui assure une surveillance in situ entièrement automatisée en temps réel des étapes et des résultats du processus. De plus, le réacteur Ultima est également équipé de dispositifs de sécurité intégrés qui comprennent l'arrêt automatisé, les systèmes automatisés d'arrêt du gaz et la sécurité d'arrêt à distance. Pour garantir un fonctionnement fiable et des résultats de haute qualité, le réacteur Ultima est conçu pour faciliter la maintenance et le fonctionnement, avec une conception modulaire et un accès facile aux composants pour la maintenance et d'autres processus standard. Le réacteur Ultima est également livré avec un logiciel de fonctionnement avancé qui est conçu pour optimiser les paramètres définis par l'utilisateur. Centura Ultima Reactor offre à l'utilisateur des résultats de processus performants et un rendement élevé. C'est un réacteur à cycle rapide, très précis, fiable et sûr qui peut facilement produire des films de haute qualité pour une variété d'applications de semi-conducteurs.