Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima #9137477 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura Ultima est un équipement avancé de gravure de plasma/chambre propre qui simplifie les processus de fabrication. Ce système comprend entre autres une chambre à vide élevé, un générateur de radiofréquence (RF) et une source de plasma. La source de plasma est une torche Balor montée dans la chambre supérieure. Il se compose d'une double bague annulaire double finition Balor/Balor Ultra, avec une gamme de jusqu'à 16 ports de livraison de chimie pour le refroidissement de la buse. La chambre dispose d'un ensemble plasma pour diriger le fonctionnement de la torche Balor et contient le transformateur générateur de plasma et l'unité de délivrance de la chimie de l'hydrogène-argon. Le générateur RF fournit l'énergie pour activer la source de plasma. Les alimentations RF peuvent être de différentes configurations, et la chambre dispose également d'un générateur de champ magnétique sextupole qui réduit la pression du plasma, augmente l'utilisation de la puissance RF, et améliore l'uniformité des gravures. La chambre est équipée d'une gamme complète de composants pour assurer un motif de gravure uniforme. Pour garder l'intérieur propre et exempt de contaminants, un ventilateur d'échappement et une machine de filtration circulent à haute vitesse de l'air propre et élimine les particules résiduelles et générées. AMAT Centura Ultima est équipé d'un outil de technologie de gaz MRP II, avec jusqu'à cinq conduites de gaz pour fournir et contrôler les flux de gaz à l'intérieur de la chambre. Cette fonctionnalité permet aux utilisateurs d'obtenir des taux de gravure plus cohérents entre les différents substrats. La chambre dispose également d'un emballage de refroidissement côté arrière hélium (He) optionnel qui facilite le contrôle des températures pour éviter les dommages d'étouffement diélectrique et les surgravures subséquentes. Le robot de chargement avant offre un moyen facile et sûr de transférer les substrats à travers la chambre, et la chambre est conçue pour fournir un accès facile à tous les composants à des fins de maintenance et de remplacement. La chambre est enfermée dans une armoire robuste, fortement construite pour résister à un environnement de production difficile et assurer la sécurité du personnel. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura Ultima est un outil de gravure/nettoyage hautement capable. C'est un atout fiable et polyvalent qui est capable de fournir des profils de gravure extrêmement uniformes et des résultats reproductibles. Son modèle de livraison de gaz efficace et son générateur RF haute performance permettent aux utilisateurs d'obtenir une gravure et un nettoyage de haute précision, tandis que ses composants avancés et sa conception personnalisable permettent aux utilisateurs de l'adapter à leurs besoins et processus spécifiques.