Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima #9157680 à vendre en France

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ID: 9157680
HDP CVD System (3) HDP CVD Chambers Ultima+ ENI Generators NOVA50A GHW50A.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura Ultima est un réacteur multi-chambres à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) conçu pour le dépôt de métaux et de diélectriques. Il est capable de déposer une grande variété de matériaux dont l'aluminium, le silicium, le titane, le tungstène et le cuivre. L'équipement est équipé d'un système de contrôle de pression automatisé, d'une unité de surveillance avancée et d'une interface utilisateur intuitive pour faciliter son utilisation. L'Ultima comprend également une machine brevetée d'adaptation d'impédance à commande de tension ultra-précise (VCIM) pour garantir des processus de dépôt optimaux et reproductibles. La conception multi-chambres et la plate-forme modulaire du réacteur offrent une flexibilité inégalée, permettant à l'utilisateur d'appliquer différents processus et paramètres à chaque chambre afin d'adapter les propriétés d'hydrophilie de surface, d'adhérence et de barrière pour des applications spécifiques. Le régulateur de température intégré et les multiples sources de flux de gaz permettent à l'utilisateur de contrôler avec précision la vitesse de dépôt, la répartition thermique et l'uniformité. De plus, l'Ultima offre une faible résistance au contact électrique, une meilleure filtration des particules et des caractéristiques de sécurité de pointe. L'Ultima dispose d'un élément chauffant conçu sur mesure pour assurer un transfert de chaleur uniforme et un gradient thermique minimisé. L'élément thermique fournit également une plage de température améliorée allant jusqu'à 950ºC, permettant à l'utilisateur une plus grande flexibilité dans leurs processus de dépôt. Grâce à la surveillance avancée et au contrôle automatisé de la pression, l'utilisateur peut garantir des paramètres cohérents et des résultats reproductibles. Un grand avantage de l'Ultima est sa minimisation du bruit, grâce à son VCIM breveté. Cet outil contribue également à réduire l'entretien, en créant un environnement de dépôt plus sûr et plus fiable. L'Ultima simplifie également le chargement et le déchargement des plaquettes, avec son mouvement de cassette à cassette automatisé et sa porte d'accès sans outil. Ceci assure une transition rapide et facile entre le chargement et le déchargement de la chambre, en économisant du temps et en réduisant les erreurs. De plus, sa vanne d'isolement à actionnement pneumatique permet d'isoler les parties inutilisées du réacteur, de rationaliser encore le chargement et le déchargement de la chambre. Dans l'ensemble, AMAT Centura Ultima est un atout de dépôt idéal pour les matériaux tels que l'aluminium, le silicium, le titane, le tungstène et le cuivre. Avec des fonctionnalités telles qu'un modèle de surveillance avancé, un contrôle automatisé de la pression, une interface utilisateur intuitive et un équipement VCIM breveté, l'utilisateur peut profiter de processus de dépôt améliorés et la fiabilité des équipements. L'Ultima offre également une gamme thermique améliorée allant jusqu'à 950 ºC et une faible résistance de contact électrique, ainsi qu'une meilleure filtration des particules et un chargement et un déchargement sûrs pour une flexibilité et une protection maximales de l'utilisateur.
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