Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxP #9121263 à vendre en France
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AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura WxP est un réacteur de production monobloc conçu pour fournir une solution de procédé à haut volume pour le marché avancé de la fabrication d'IC. Le réacteur WxP est disponible en trois configurations : Barillet seulement, Humide seulement, ou Flexible. Chaque configuration est une plate-forme haute performance et hautement configurable capable de répondre aux besoins des procédés avancés de production de semi-conducteurs. Le réacteur est conçu pour offrir des technologies flexibles qui comprennent CMP, ASAT, remplissage des lacunes, dépôt électrochimique, gravure, dépôt de PVD, et beaucoup d'autres. Il fournit un module avancé de gestion des variations de processus (PVM) qui permet de surveiller, prédire et optimiser les conditions de processus pendant la production. La conception personnalisable de l'interface du réacteur permet aux ingénieurs du procédé d'ajuster et d'expérimenter rapidement les paramètres afin d'optimiser les processus. Le réacteur WxP est équipé d'un système de dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD) pour permettre un dépôt de meilleure qualité de silicium polycristallin, d'oxynitrure de silicium et de matériaux diélectriques à bas k. Il abrite également un système de dépôt électrochimique (DCE) qui est utilisé pour le dépôt de tungstène ainsi que pour la redistribution et les applications de remplissage latéral. Le réacteur WxP dispose d'une robotique avancée et de systèmes de calibrage pour assurer un positionnement précis et une manipulation précise des matériaux en vrac. De plus, le réacteur est construit avec plusieurs caractéristiques de sécurité telles que des serrures à air, des feuilles résistantes à la pression et des alarmes de surpression pour assurer une sécurité optimale pendant le fonctionnement. Le réacteur WxP offre une productivité élevée grâce à sa capacité multi-processus tout en assurant précision et performance. Il est construit avec une technologie avancée de manutention du mouvement et de la plaquette qui permet à la fois l'alignement de la plaquette et du niveau de la matrice. Il est également intégré aux outils de mesure du rendement et d'inspection qui détectent les défauts et fournissent une rétroaction sur le rendement du processus. Dans l'ensemble, AMAT Centura WxP est un réacteur de pointe conçu pour fournir des résultats de haute qualité et un débit accru dans la production de semi-conducteurs. Sa conception configurable et ses modules personnalisables permettent aux ingénieurs d'adapter les paramètres du réacteur aux différentes exigences du processus, tandis que ses caractéristiques de sécurité avancées garantissent un environnement de travail sûr.
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