Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #9174489 à vendre en France
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AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur de la série Centura WxZ est un équipement de gravure haute performance qui est utilisé pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Le réacteur WxZ est un système de gravure avancé qui utilise les technologies plasma pour fournir une gravure rapide et précise avec un minimum de dommages aux matériaux du substrat. AMAT Centura WxZ est conçu pour traiter des plaquettes de 6 pouces à 32,5 pouces de diamètre. Il dispose d'une gamme de modules de processus comprenant la gravure de faisceau d'ions à haut courant, la gravure d'ions réactifs (RIE), le RPCVD, le SPCVD et le PECVD. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura WxZ est constitué d'une chambre à électrode tournante. Cette unité est capable de manipuler des procédés à haut débit tels que la gravure et l'implantation de différents matériaux sur la surface des plaquettes. Il est également capable de fournir un profil de gravure très uniforme qui élimine la surgravure des marges et élimine « l'effet de bord » dans les produits finaux. La machine offre également un ensemble d'automatisation avancé. Cet ensemble comprend une console à gaz, un robot de transfert intégré de plaquettes et un outil de dépôt chimique en phase vapeur (DCE) amélioré par plasma. Cet ensemble d'automatisation est conçu pour minimiser la contamination croisée, réduire la variation de processus à processus et offrir un meilleur contrôle des actifs. Centura WxZ est capable d'obtenir des gravures de haute qualité pour divers matériaux, dont le silicium, le germanium, l'arséniure de gallium et divers matériaux diélectriques. Il est contrôlé par une interface logicielle avancée, qui permet aux utilisateurs d'ajuster facilement des paramètres tels que la pression du processus, les débits, les taux de gravure et la température du substrat. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura WxZ dispose également d'un modèle de sécurité avancé. Cet équipement est conçu pour éviter toute contamination de la chambre et pour assurer la régulation de la température et de la pression. Le système de sécurité surveille également l'intégrité du réchauffeur, du cristal piézo-électrique et du plasma. Il surveille également la consommation d'énergie, ce qui contribue à optimiser sa consommation d'énergie. Le réacteur AMAT Centura WxZ assure une gravure fiable, rapide et précise d'une large gamme de matériaux semi-conducteurs pour diverses applications. Son ensemble d'automatisation avancé, son unité de gravure haute performance et sa machine de sécurité en font un choix idéal pour la gravure de précision.
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