Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #9203350 à vendre en France
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AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura WxZ est un réacteur de procédé conçu pour le dépôt dans la fabrication de semi-conducteurs. Le réacteur est capable d'effectuer à la fois le dépôt physique en phase vapeur (PVD) et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Il dispose de deux volumes de réaction de grand volume pour un plus grand débit de traitement et la flexibilité. Le système est équipé d'un générateur RF et d'une source de plasma RF, permettant des films uniformes et de haute qualité avec de faibles niveaux de particules. Le réacteur WxZ dispose également d'un mandrin sous vide pour la rotation du substrat, ainsi que d'un système automatisé d'alimentation en gaz avec des régulateurs de débit massique haut de gamme et une surveillance in situ automatisée des paramètres du processus. Les systèmes de régulation de température et de pression de haute précision garantissent des résultats cohérents et reproductibles. De plus, le réacteur WxZ est conçu pour assurer une homogénéité de température supérieure, minimisant la variabilité sur la surface du substrat. Cela assure une croissance de film de haute qualité sur de grands substrats. Le réacteur WxZ est conçu pour fournir le plus haut degré de contrôle de processus et de précision. Les capacités sophistiquées de surveillance du processus permettent de détecter en temps réel l'épaisseur du film et d'autres paramètres critiques du processus. Il est conçu pour maximiser le débit, ainsi que minimiser l'utilisation consommable. Le système offre également la surveillance de l'accès aux outils et l'impression de clé de sécurité ultraviolette (UV) pour améliorer la sécurité. Le réacteur WxZ est compatible avec une gamme de procédés chimiques, permettant une flexibilité maximale dans la fabrication des semi-conducteurs. Cela comprend des procédés tels que la gravure par faisceau d'ions (IBE), la gravure par ions réactifs (RIE), le dépôt par couche atomique (ALD) et les applications électrochimiques. Le réacteur est construit à partir de matériaux robustes et de haute qualité, assurant un fonctionnement fiable et une durée de vie prolongée du produit. De plus, sa conception en chambre étanche permet un entretien facile, tout en aidant à prévenir la contamination et à assurer la répétabilité des processus. AMAT Centura WxZ est un outil fiable pour réaliser des films de haute qualité, avec un contrôle de processus supérieur et une plus grande efficacité.
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