Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura XE #293775905 à vendre en France
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ID: 293775905
Rapid Thermal Processing (RTP) system
SMIF
ATM
Loadlock
HP Robot
(3) Chambers
(2) SMC Chillers
(2) ASYST LPT 2200 SMIF Loaders
EBARA AA20N Pump.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura XE est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (PECVD) hautement perfectionné et polyvalent utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Cet outil de pointe est spécialement conçu pour le dépôt de couches minces de divers matériaux sur des substrats avec une grande précision et uniformité. AMAT Centura XE offre un contrôle de processus exceptionnel, la flexibilité et la fiabilité, ce qui en fait un choix privilégié pour les installations de fabrication de semi-conducteurs dans le monde entier. Au cœur des matériaux appliqués Centura XE est son design de chambre innovant, qui fournit un environnement optimal pour le dépôt de films minces à travers PECVD. La chambre est équipée de multiples entrées de gaz, de sources de plasma RF et de systèmes de contrôle de la température pour supporter un large éventail de processus de dépôt. Le mécanisme de manutention des plaquettes permet le traitement simultané de plusieurs substrats, augmentant le débit et l'efficacité. Une des caractéristiques clés de Centura XE est ses capacités avancées de contrôle des processus. Le réacteur est équipé de régulateurs de débit massique de pointe, de capteurs de pression et de générateurs de puissance RF qui permettent un contrôle et un réglage précis des paramètres clés du processus tels que les débits de gaz, la pression de la chambre, la puissance du plasma et la température. Ce niveau de contrôle garantit une qualité de film et une reproductibilité cohérentes, critiques pour la production de semi-conducteurs à haut volume. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Le Centura XE est également très flexible, capable de déposer une variété de matériaux en couches minces tels que le dioxyde de silicium, le nitrure de silicium et les diélectriques à bas k. Le système prend en charge les processus de dépôt thermique et plasmatique, offrant aux utilisateurs une large gamme d'options pour personnaliser les propriétés des films afin de répondre aux exigences spécifiques des appareils. En outre, le réacteur peut être facilement configuré pour différentes épaisseurs de film, vitesses de dépôt et compositions de film, ce qui le rend adapté à un ensemble varié d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs. En termes de fiabilité, AMAT Centura XE est conçu pour répondre aux exigences rigoureuses des environnements de fabrication de semi-conducteurs. La construction robuste du réacteur, les systèmes de surveillance avancés et les fonctions d'entretien automatisé assurent une disponibilité prolongée et un temps d'arrêt minimal, réduisant les coûts de production et maximisant la productivité. Le système est également conçu pour faciliter l'entretien et l'entretien, avec des composants accessibles et des outils de diagnostic qui facilitent le dépannage rapide et la réparation. Dans l'ensemble, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura XE est un réacteur PECVD de pointe qui établit de nouvelles normes pour le dépôt de couches minces dans l'industrie des semi-conducteurs. Ses caractéristiques avancées, son contrôle inégalé des processus, sa flexibilité et sa fiabilité en font un outil indispensable pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à obtenir des dépôts de couches minces performants et cohérents pour leurs dernières technologies de dispositifs. Avec ses capacités de pointe et ses antécédents avérés, Centura XE demeure un choix privilégié pour les principales installations de fabrication de semi-conducteurs dans le monde.
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