Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura XP #9201763 à vendre en France
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ID: 9201763
Taille de la plaquette: 8"
CVD System, 8"
WSIX (Optima)
(4) Chambers
2002 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura XP est un équipement de traitement polyvalent conçu pour répondre aux exigences de la fabrication actuelle de semi-conducteurs à haute productivité. Cet équipement est capable de gérer des processus à la fois avancés et anciens, permettant une excellente flexibilité et évolutivité lors de la transition entre différentes technologies. AMAT Centura XP est capable de réaliser un large éventail de procédés différents, y compris le dépôt, la gravure et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Le système offre également une surveillance et un contrôle avancés des processus, avec des options pour la métrologie, la détection des ruptures de plaquettes et les audits de défaillance. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura XP fournit un excellent contrôle thermique et comprend un support automatisé de transfert de plaquettes, permettant un temps de cycle rapide et des résultats reproductibles. Le réacteur Centura XP offre une flexibilité et une précision supérieures, grâce à ses deux loadlocks et une option de loadlock automatique in situ (ISLL), ainsi qu'une plate-forme programmable, modulaire et extensible. Cela permet aux utilisateurs de configurer l'appareil en fonction de leurs besoins spécifiques et d'assurer un contrôle maximal des processus. En outre, la machine dispose de PRGD à haute pression pour le gaz et le liquide, de contrôles de sécurité intégrés et d'emboîtements, de surveillance automatisée de la pression et de la température, et d'un outil de chauffage avec plusieurs options (selon le type d'application). MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Le réacteur Centura XP est conçu pour un maximum de fiabilité et de disponibilité, et est livré avec une large gamme de fonctionnalités intégrées. Il supporte jusqu'à 24 niveaux de recettes, des ajustements à la volée, de l'oxygène, de l'hélium et de la purge à l'azote, et est compatible avec une gamme de recettes de procédé avancées, comme les réactifs en aval pour la gravure et les dommages de surface. De plus, l'actif comprend des outils de grappes de 20 pouces, permettant d'appliquer simultanément jusqu'à cinq recettes sur six plaquettes, tandis qu'un modèle de transfert automatisé de cassette à cassette (CTC) assure un cycle de transfert fiable de plaquettes. La construction de l'équipement comprend des composants polis par miroir, qui réduisent la production de particules et maximisent les performances et le débit. En outre, le réacteur AMAT Centura XP est conçu pour une reproductibilité des procédés à faible coût et à haut volume et un excellent contrôle des particules. Pour maximiser la fiabilité et le temps de disponibilité, le système est équipé d'une couche de validation automatisée des processus, qui permet de détecter et de corriger rapidement les erreurs. Les autres caractéristiques comprennent une unité de maintenance préventive embarquée, ainsi que des systèmes d'alarme automatisés et de sécurité en cas de panne. La machine peut également être configurée pour s'ajuster automatiquement aux changements dans les conditions plasmatiques, réduisant le besoin de réglages manuels et intensifs.
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