Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura XZ #9093325 à vendre en France

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura XZ
ID: 9093325
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
CVD System, 12", 2003 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura XZ est un équipement PECVD conçu pour la fabrication à haute productivité de dispositifs semi-conducteurs et optoélectroniques avancés. Le système dispose de commandes de fonctionnement hautement intégrées ainsi que d'une capacité de chargement et de déchargement automatique. L'unité peut être configurée pour fournir jusqu'à trois chambres de traitement indépendantes, supportées chacune par une alimentation spécifique haute fréquence. Chaque chambre est équipée de la technologie potentiostat, permettant un contrôle précis des paramètres plasmatiques pour un contrôle efficace de la vitesse de gravure/sélectivité. Le réacteur AMAT Centura XZ offre une plate-forme flexible pour la production de dispositifs CMOS, de structures MEMS, de composants MEMS et de dispositifs semi-conducteurs en silicium monocristallin. La machine est capable de processus de dépôt ultra-haut (UHD) et est équipée d'un générateur RF haute tension (HV-RF) pour améliorer l'uniformité de surface pendant les processus PECVD. Le dispositif programmé de contrôle des dépôts (DCS) de l'outil assure un contrôle précis et une répétabilité de l'épaisseur du film sur l'ensemble de la plaquette. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura XZ dispose d'une gamme d'outils innovants pour améliorer le contrôle et la performance des procédés. Cela comprend un modèle automatisé de délivrance de dopants pour le dopage in situ, qui peut minimiser les pertes matérielles et assurer des concentrations de dopage répétables. L'équipement supporte également un contrôle précis de la gravure par l'utilisation de divers mélanges de gaz réactifs dans une seule chambre ou plusieurs chambres. En outre, le système offre des taux de dépôt uniformes sur une large gamme de températures de dépôt, maximisant la qualité du produit. Le réacteur est conçu pour le démarrage rapide de l'outil et la facilité de fonctionnement, permettant une production de plaquettes plus rapide. L'unité est modulaire et hautement automatisée, réduisant la complexité du chargement et du déchargement des plaquettes et offrant un environnement sûr pour le personnel. La machine dispose également de dispositifs de sécurité intégrés tels que des emboîtements pour prévenir les incidents de haute pression et de contamination. Le réacteur Centura XZ est un outil innovant qui fournit une gamme de solutions pour les exigences avancées des procédés. Il est conçu pour être polyvalent et peut être configuré pour répondre aux exigences spécifiques d'une grande variété d'applications. L'atout fournit un contrôle précis des processus, des taux élevés d'uniformité des dépôts et la capacité d'intégrer le dopage in situ pour un contrôle continu des concentrations de dopage. Grâce à la combinaison de performances, de fiabilité et de maintenance réduite, le réacteur Centura XZ d'AMAT/APPLIED MATERIALS est un choix idéal pour la fabrication à haute productivité de dispositifs semi-conducteurs et optoélectroniques avancés.
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