Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #146827 à vendre en France

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ID: 146827
Taille de la plaquette: 12"
RTP Chamber, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Le réacteur CENTURA est l'un des systèmes les plus avancés et les plus fiables pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et le traitement du plasma. Il s'agit d'un outil très flexible pour la R&D et la production dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. L'équipement comporte deux composants principaux : Le premier est une chambre à vide composée d'une série de plaques de quartz ou d'acier inoxydable, qui peuvent être pressurisées avec des gaz inertes et à travers lesquelles le vide peut être stabilisé. Le deuxième composant est un ensemble cathodique, qui maintient le matériau cathodique et peut être inséré dans la chambre pour générer du plasma. En outre, il comporte un générateur RF, qui fournit une puissance électrique pour le plasma et un système d'alimentation en gaz pour l'admission de gaz de procédé dans la chambre. Le générateur RF dans le réacteur AMAT CENTURA est un module haute tension capable de contrôler la puissance de sortie. Cela permet à l'opérateur d'ajuster les paramètres de fonctionnement et de sélectionner les meilleurs réglages de commande de puissance. Le générateur RF gère également la commande de la tension de polarisation appliquée à la plaquette. Le générateur RF est également relié à la plaque de base de la chambre, qui sert de bouclier et contribue à éviter les interférences avec le circuit. L'unité d'alimentation en gaz est également un composant clé du réacteur APPLIED MATERIALS CENTURA. Il est relié à la chambre à vide par un ensemble de vannes d'entrée et de sortie et sert à introduire dans la chambre des gaz de procédé tels que l'oxygène et l'azote. Ce gaz est ensuite mélangé au matériau de procédé et remis en circulation dans la chambre pour maintenir un bon contrôle de la température et de la pression. L'ensemble cathodique du réacteur CENTURA est composé d'un ensemble d'électrodes maintenues en place par une combinaison de composants mécaniques et électriques. Ces électrodes sont chargées de former du plasma à l'intérieur de la chambre, et le type et la combinaison des électrodes utilisées varient selon l'application. L'ensemble cathodique peut être personnalisé en fonction des besoins spécifiques de l'utilisateur. Enfin, la chambre du réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA est également très réglable et peut être programmée pour augmenter ou diminuer les niveaux de température et de vide dans la chambre. Ceci permet à l'utilisateur d'atteindre les conditions de fonctionnement souhaitées, ce qui peut améliorer considérablement le rendement du procédé. En résumé, le réacteur AMAT CENTURA est une machine fiable et polyvalente pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et le traitement du plasma. Il offre une excellente combinaison de fonctionnalités qui soutiennent la R&D et les applications de production et un ensemble fiable de caractéristiques comme le générateur RF, l'outil d'alimentation en gaz, et l'ensemble cathodique. Tous ces composants se combinent pour faire du réacteur CENTURA DES MATÉRIAUX APPLIQUÉS l'un des choix les plus populaires pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et le traitement du plasma.
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