Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #146828 à vendre en France

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ID: 146828
Taille de la plaquette: 12"
RTP Chamber, 12" Cards: CDN491, CDN496, Gas Interlock board.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA est un réacteur à haute température utilisé dans la fabrication de dispositifs microélectroniques. Il peut être utilisé pour déposer une variété de films, y compris des isolants et des conducteurs, sur des substrats semi-conducteurs. AMAT CENTURA est fait de céramique haute température, d'acier inoxydable et d'autres composants thermiques construits pour résister aux hautes températures nécessaires à la création des films désirés. Il se compose d'un boîtier contenant une chambre de procédé, un canon à faisceau d'électrons et des composants de refroidissement. A l'intérieur de la chambre de procédé, il y a un socle sur lequel le substrat peut être placé. Le substrat est chauffé par le canon à faisceau d'électrons, qui bombarde la surface du substrat avec des électrons. Comme le faisceau est dirigé et focalisé à travers le substrat, la chaleur est générée et le matériau commence à fondre et finalement s'évaporer de la surface du substrat. La chambre de procédé comporte deux sources de gaz qui peuvent être utilisées pour fournir une atmosphère à l'intérieur de la chambre de procédé. Une source de gaz est dirigée vers la zone de dépôt du film, tandis que l'autre source est dirigée vers la cuvette, ce qui peut assurer un refroidissement supplémentaire du substrat. La température à l'intérieur de la chambre de procédé peut atteindre des températures allant jusqu'à 800 ° C Cette atmosphère chauffée permet un dépôt de film rapide, permettant un dépôt de films de meilleure qualité sur le substrat. De plus, l'atmosphère peut être contrôlée avec une précision de 0,1 ° C, ce qui permet de déposer une large gamme de films en fonction du résultat souhaité. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La taille et le poids de CENTURA le rendent idéal pour la manipulation en salle blanche. Il est capable de manipuler des substrats jusqu'à 200 mm de diamètre et dispose d'un écran LCD facile à utiliser pour contrôler les processus dans la chambre de processus. CENTURA est un réacteur à haute température le mieux adapté à la fabrication de micro-dispositifs avec des films de qualité supérieure. Il est capable de résister à des températures allant jusqu'à 800 ° C, et peut assurer un contrôle précis de l'atmosphère du procédé avec une précision de 0,1 ° C En outre, il est facile à installer dans l'environnement de la salle blanche, et peut accueillir des substrats jusqu'à 200 mm de diamètre.
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