Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293600348 à vendre en France
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ID: 293600348
Style Vintage: 1997
Metal etcher
Mainframe
(2) DPS Chambers (Poly and metal)
(2) R2 Chambers
(2) ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Transfer pump / loadlock pump
(3) BOC EDWARDS iH80 Dry pumps
(3) NESLAB HX-150 Chillers
HP Robot
Narrow body load locks
AC and generator rack
1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Wafer Reactor (AMAT CENTURA) est un outil de dépôt métallique conçu pour créer des motifs complexes de plaquettes dans une grande variété de matériaux. L'outil peut être utilisé pour déposer des matériaux tels que l'or, l'aluminium, le titane, le chrome et le tungstène parmi tant d'autres. MATÉRIAUX APPLIQUÉS CENTURA utilise des technologies peu coûteuses de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et de planarisation mécanique chimique (CMP) pour produire des structures métalliques très uniformes et aux caractéristiques fines. CENTURA utilise une conception de chambre totale très efficace qui améliore les capacités de processus, y compris le réarrangement des plaquettes, la performance des plaquettes et l'utilisation des chambres. Cette conception efficace dispose d'un équipement CVD Dual Cycle, qui est capable de traiter plus de plaquettes en moins de temps. Le CVD à double cycle peut traiter simultanément jusqu'à 16 plaquettes à la fois, ce qui permet le dépôt multiple de différents matériaux simultanément. En outre, le module double piste CMP permet d'augmenter le débit, permettant des résultats supérieurs en termes d'uniformité, de planarité et de métallisation. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA offre un niveau de flexibilité et de précision sans précédent, permettant aux utilisateurs de déposer, graver et polir les détails les plus complexes. Le système CVD est équipé d'une unité de métrologie embarquée avancée pour évaluer les caractéristiques des motifs en temps réel. Cela donne aux utilisateurs un contrôle sans précédent sur leur processus, et permet des paramètres de dépôt précis pour des caractéristiques très détaillées. De plus, AMAT CENTURA comprend une fonction de cartographie dynamique de la température pour cartographier avec précision la répartition de la température de toutes les régions de processus essentielles. En outre, APPLIED MATERIALS CENTURA est équipé de caractéristiques de sécurité avancées et d'un certain nombre d'outils de processus qui aident à optimiser les conditions de processus. L'outil comprend un « capteur à la sécurité » machine de surveillance et pop up wafer vide pour le retrait des plaquettes. D'autres caractéristiques de l'outil comprennent un actif de détection de particules, un modèle de surveillance de la pression sous vide et un bras robotique hautement fiable pour la manutention des plaquettes. CENTURA offre une excellente précision et répétabilité, offrant une uniformité de surface supérieure. L'outil peut également être entièrement automatisé et intégré à d'autres outils dans le cadre d'un processus de fabrication flexible. Cette flexibilité permet aux utilisateurs d'intégrer leur processus et de contrôler l'ensemble du processus de production. Avec ses caractéristiques avancées et son fonctionnement intuitif, AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA est l'outil idéal pour le dépôt et le polissage précis de plaquettes de haute qualité.
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