Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293607516 à vendre en France
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ID: 293607516
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2003
Etcher, 8"
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA est un équipement de traitement des plaquettes à semi-conducteurs de haute performance conçu par AMAT. C'est une solution globale intégrée qui permet aux fabricants d'augmenter la productivité et de maximiser les rendements. Le système AMAT CENTURA combine plusieurs étapes de processus dans une même plate-forme, permettant un traitement répétable et contrôlable d'une large gamme de matériaux et de substrats. L'unité avancée permet la métrologie intégrée et les capacités d'inspection et la répétabilité des processus. La machine est également équipée de diverses caractéristiques qui peuvent être utilisées pour mesurer des paramètres de performance tels que la température, la pression, le débit, la tension et le courant. MATÉRIAUX APPLIQUÉS CENTURA est compatible avec tous les systèmes de photolithographie. La chambre de réaction de traitement des plaquettes comprend un Etchant, Route, Dépôt électrochimique (ECD), Diffusion, et RTP (Rapid Thermal Processing). La chambre est conçue pour permettre des résultats rapides, fiables et reproductibles pour toute taille et forme de plaquette. L'autre composant principal de l'outil est la station de cartographie de Wafer qui permet un placement et un alignement flexibles des wafers en fonction de leur application. Cela permet de cartographier avec précision les caractéristiques du dispositif et de surveiller tout changement survenu au cours des essais optiques et électriques. Les capacités de gravure et de diffusion de CENTURA permettent d'éliminer efficacement les matériaux de couches indésirables, ce qui permet d'uniformiser le processus. Les capacités de dépôt électrochimique (DCE) permettent la formation de fertilisants uniformes dans les métaux et les oxydes métalliques. La chambre de traitement thermique rapide (RTP) permet un recuit rapide du substrat. La chambre ECD présente également un taux de dépôt métallique plus élevé, réduisant le temps de traitement et augmentant le rendement. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA est une solution unique de traitement intégré des plaquettes. L'actif minimise le risque global pendant la production et a la capacité de fournir des résultats fiables tout en assurant l'uniformité des pixels. Ce réacteur est très polyvalent et efficace, ce qui le rend adapté à un large éventail d'applications dans la fabrication de semi-conducteurs.
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