Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293751886 à vendre en France
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ID: 293751886
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
CVD System, 12"
Process: BD / SICOH Etch / Dry etch
Size: 32 nm
OS: WindowsXP
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA est un réacteur à dépôt physique en phase vapeur (PVD) à haute performance utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. AMAT CENTURA est un réacteur monobloc, c'est-à-dire qu'il est capable de traiter une plaquette à la fois. MATÉRIAUX APPLIQUÉS CENTURA utilise diverses méthodes et procédés de dépôt pour déposer des matériaux sur une plaquette semi-conductrice. Les méthodes de dépôt comprennent l'évaporation thermique, le dépôt par pulvérisation, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et le dépôt laser pulsé (PLD). CENTURA est conçu pour déposer systématiquement des couches uniformes de matériaux à haut débit sans compromettre sa qualité. AMAT/APPLIED MATERIALS La chambre du réacteur CENTURA est en acier inoxydable et chauffée par un élément chauffant résistif. Il s'agit d'une chambre à vide ultra haute avec une pression de base inférieure à 10-7 Torr. Il est capable de cycler thermiquement rapidement, ce qui lui permet de déposer et de recuit rapidement des matériaux sur la plaquette. AMAT CENTURA est également équipé de la technologie de confinement des charges, qui garantit que les électrons et les ions ne s'échappent pas de la chambre et ne contaminent pas la plaquette. On évite ainsi que les plaquettes ne soient contaminées par des impuretés susceptibles d'affecter leurs performances. MATÉRIAUX APPLIQUÉS CENTURA est un outil polyvalent utilisé pour la fabrication d'une large gamme de plaquettes semi-conductrices. Il est utilisé pour le dépôt de matériaux comme le cobalt, le molybdène, le tantale, le tungstène, le parylène et le titane sur la plaquette. Il est également capable de traiter une variété de matériaux, y compris des métaux, des oxydes, des nitrures et des polymères. En plus du dépôt physique en phase vapeur, CENTURA peut également être utilisé pour effectuer des processus de gravure et de nettoyage in situ afin d'affiner la surface de la plaquette. Il est également capable de réaliser in situ la diffraction électronique à haute énergie de désorption et de réflexion (DRHEED). Ces informations permettent de mieux comprendre le comportement des matériaux lorsqu'ils sont exposés à certaines températures ou pressions. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA est un outil PVD très avancé et fiable utilisé par de nombreuses industries pour la production de plaquettes. Sa flexibilité et ses performances en font un candidat idéal pour produire des plaquettes de haute qualité pour diverses applications.
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