Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293767195 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor est un réacteur à haute performance qui offre de puissantes capacités de processus pour les applications de dépôt en couches minces et de gravure humide. Il combine des configurations de modules de processus standard AMAT avec des fonctionnalités avancées qui permettent aux utilisateurs d'optimiser leurs processus pour une productivité et une précision accrues. AMAT CENTURA est un équipement simple de dépôt chimique en phase vapeur (PECVD), enrichi par plasma. Il utilise à la fois des alimentations à fréquence variable et à courant continu (DC) pour permettre le dépôt en couches minces de divers matériaux semi-conducteurs. MATÉRIAUX APPLIQUÉS CENTURA dispose de cinq modules de processus - trois chambres de gravure à plasma, une chambre de gravure/bande et une chambre de dépôt - dont chacun a une hauteur, un pas et une inclinaison réglables pour assurer des résultats de processus uniformes. Les chambres de gravure à plasma CENTURA sont conçues pour fournir une gravure haute performance des photorésistes, des couches métalliques et d'autres matériaux. Ils utilisent des sources d'énergie plasma à radiofréquence (RF) pour générer le plasma nécessaire à la gravure. La chambre de gravure/bande permet à la fois la gravure et le strippage des photorésistes et des produits organiques. Il est équipé d'un système de distribution de gaz réglable, qui peut aider à optimiser le taux de gravure des gravures. AMAT/APPLIED MATERIALS La chambre de dépôt de CENTURA est le lieu de dépôt des couches minces. Il est équipé de générateurs RF à double fréquence pour alimenter sa source de courant continu coaxial magnétron pour un contrôle d'épaisseur de film de haute précision. Il comporte également une unité de polarisation RF-DC réactive qui assure une polarisation uniforme sur la surface de la plaquette. La machine de polarisation peut également être utilisée pour permettre un traitement en ligne. En plus de ses capacités de processus de haute performance, AMAT CENTURA dispose également de fonctionnalités de sécurité avancées telles qu'une cloison plasma isolée, un outil d'évent et des embouts complets pour aider à protéger les utilisateurs contre une exposition potentiellement dangereuse. Dans l'ensemble, APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor est un atout puissant et performant conçu pour fournir aux utilisateurs une solution optimisée pour les applications de dépôt en couches minces et de gravure humide. Ses modules de processus personnalisables, son contrôle précis de l'épaisseur du film et ses systèmes de sécurité complets en font un choix idéal pour les utilisateurs à la recherche de performances et de stabilité maximales.
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