Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9026986 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA est un réacteur à haut débit de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) d'AMAT. Il s'agit d'un outil de procédé complet utilisé pour le dépôt de matériaux à faible couche diélectrique, tels que le SiO2, le SiN et le SiOCH. La capacité du procédé CVD ne se limite pas aux dépôts de SiO2, mais elle peut également être utilisée pour le dépôt de divers autres matériaux, tels que le poly Si, le poly SiGe, le TaN et d'autres. Le réacteur AMAT CENTURA dispose d'une grande chambre à vide d'un diamètre pouvant atteindre 20 pouces. Ses deux zones thermiques peuvent être ajustées indépendamment, ce qui permet un dépôt uniforme sur l'ensemble du substrat. Afin de maximiser le débit du processus et de minimiser le temps de cycle du produit, l'équipement est conçu avec un distributeur de gaz à haut volume pour le mélange et la livraison rapides de gaz. Le réacteur est équipé d'un injecteur à paroi chaude et d'une source CVD basse pression à paroi froide pour un CVD solide précis. Le système comprend une tête de douche à réseau linéaire avec jusqu'à 40 orifices en vis-à-vis RF qui répartissent uniformément les gaz réactifs à la surface de la plaquette/substrat. L'unité offre également une variété d'options de transport wafer/substrat et contient également des systèmes internes d'épuration et de nettoyage, permettant un traitement répétable avec une excellente répétabilité et uniformité. MATÉRIAUX APPLIQUÉS CENTURA est également équipé d'une machine de contrôle numérique robuste. Cela permet un contrôle précis et cohérent de la température, de la pression et du débit des gaz réactifs du réacteur. La surveillance in situ de CENTURA offre une caractérisation in situ précise, ce qui est essentiel pour assurer la répétabilité de l'épaisseur, de l'uniformité et de la qualité de la couche. LES MATÉRIAUX APPLIQUÉS offrent une variété d'accessoires et de caractéristiques pour améliorer encore les performances du réacteur, comme un effecteur d'extrémité de cassette à cassette (C2C AE) qui permet un chargement et un déchargement rapides et automatisés des substrats, ainsi qu'un module de transition de chargeur, déchargeur et pompe (LUT). AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA représente un outil de procédé CVD fiable et robuste pour le dépôt d'une large gamme de matériaux à faible couche diélectrique. Son large éventail de capacités de processus et d'accessoires modulaires offre aux utilisateurs un contrôle avancé du processus de revêtement, et peut être intégré dans les modules et les architectures existants sans nécessiter de changements d'infrastructure majeurs.