Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9040065 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA (AMAT) est un réacteur généralement utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il est utilisé dans diverses configurations de scanners KLA-Tencor ainsi que dans des outils de recherche et de développement. Ce produit est construit comme un réacteur à chambre verticale avec une chambre à plasma haute densité (HDP) supportée. AMAT CENTURA est équipé de cellules isolées en zone chaude à deux étages et d'un équipement d'alimentation en anneau froid latéral pour fournir des températures uniformes et répartir la puissance sur une plus grande surface de la chambre. Ses parois intérieures sont revêtues d'un film de molybdène pour maximiser l'efficacité de gravure. MATÉRIAUX APPLIQUÉS CENTURA dispose également d'applications de gravure spécialisées, y compris la gravure anisotrope profonde, et il est capable de graver des matériaux de résistance à la fois positive et négative. Ceci est possible grâce aux sources d'alimentation en plasma, qui sont conçues pour ajuster avec précision la vitesse de gravure. Sa chambre dispose également d'une compensation automatisée de la température et d'un contrôle de la température pour assurer une uniformité et une précision supérieures lors de la gravure plasma. Le réacteur CENTURA est alimenté par une source de plasma relativement basse fréquence avec une variété de régimes gazeux tels que la gravure ionique réactive (RIE), la gravure assistée par ion (IAE), la gravure par faisceau d'ions et le dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD). AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA est capable de réagir chimiquement et de pulvériser des matériaux métalliques, ce qui en fait un excellent outil pour produire des cartes de circuits imprimables. En outre, ce système a la flexibilité pour ajuster facilement et rapidement les paramètres de gravure pour répondre aux besoins dynamiques d'une application particulière. La conception d'AMAT CENTURA permet l'expansion des plates-formes d'équipement existantes pour répondre à des volumes de production plus élevés et permet des changements de processus à effectuer à la volée pour répondre à différentes exigences d'application. Cette flexibilité permet des changements rapides avec un temps d'arrêt minimal et des débits accrus. Avec les options de configuration d'unité APPLIED MATERIALS, les utilisateurs peuvent apporter des modifications à la chambre pour des débits plus élevés, des taux de gravure plus faibles, ou même des modifications aux protocoles de processus pour différents matériaux. MATÉRIAUX APPLIQUÉS CENTURA est une machine fiable et durable qui est livrée avec une gamme de caractéristiques de sécurité. L'unité est logée dans une enceinte en acier inoxydable, et les embouts de sécurité et le collecteur de gaz réglable ont été conçus pour réduire les risques d'accident et protéger le personnel. Les parois de la chambre sont construites en alliage d'aluminium et équipées de plaques de couverture en verre thermiquement stables, et une soufflante d'échappement est incluse pour évacuer les déchets dangereux. CENTURA est un réacteur semi-conducteur qui offre une gamme de caractéristiques qui optimisent les performances de gravure, contrôlent la précision et augmentent l'efficacité globale. Sa flexibilité et sa durabilité constituent une excellente plate-forme pour diverses applications nécessitant une gravure précise et des sources métalliques pulvérisées. L'outil est également livré avec une gamme de caractéristiques de sécurité, ce qui en fait un outil sûr et fiable.
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