Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9057368 à vendre en France

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AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA
Vendu
ID: 9057368
CVD Systems Process: Ti TiCl4.
Le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA™ est un outil de gravure performant, flexible et économique pour un large éventail de procédés semi-conducteurs. Sa conception avancée et sa technologie exclusive permettent au réacteur AMAT CENTURA d'offrir un débit maximal et une gravure de précision. MATÉRIAUX APPLIQUÉS CENTURA est conçu pour gérer diverses configurations de chambres pour répondre à des exigences de production variées. Le réacteur CENTURA est équipé d'un moteur de mouvement linéaire avancé qui comprend plusieurs paramètres de mouvement tels que l'alignement orthogonal x et y, la vitesse, l'accélération et la détection de force. Ce disque robuste permet à AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA d'atteindre et de maintenir un débit élevé. La conception du mandrin électrostatique à cellule unique (ESC) permet de maintenir la pression minimale vers le bas, optimisant ainsi la température des électrons, entraînant des débits plus élevés. Le réacteur AMAT CENTURA est équipé de systèmes de distribution et de contrôle des gaz les plus modernes qui permettent à l'utilisateur d'obtenir des taux de purge et de gravure optimaux avec une uniformité de gravure précise. La technologie d'isolation diélectrique minimise le chauffage des plaquettes et assure un échauffement et un refroidissement rapides, améliorant encore le débit et l'uniformité. MATÉRIAUX APPLIQUÉS CENTURA est conçu avec une vue complète, teintée et un robot interne pour le chargement/déchargement facile des plaquettes, l'amélioration de la sécurité, la polyvalence et le débit. En outre, le réacteur CENTURA dispose d'une pléthore de capacités de manutention des plaquettes telles que l'échelle, l'orientation et la manutention des plaquettes, ainsi que la surveillance en temps réel des conditions de processus les plus critiques comme la pression, la température, la puissance, le débit et plus encore. Le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA est équipé de matériel et de logiciels avancés de contrôle et de diagnostic des processus, ce qui permet à l'utilisateur de personnaliser les opérations et d'effectuer des ajustements en temps réel des paramètres du processus pour obtenir un maximum d'uniformité et de rendement. Cela inclut le logiciel propriétaire SmartManagement qui offre la maintenance prédictive et la capacité d'alarme basée sur le déclenchement. En conclusion, le réacteur AMAT CENTURA™ est un outil de gravure avancé et économique qui offre une puissance maximale en mode impulsionnel, un débit et une gravure de précision, tandis que les capacités de contrôle de processus et de maintenance prédictive conviviales et en temps réel en font une solution idéale pour un large éventail d'applications de traitement des semi-conducteurs.
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