Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9104375 à vendre en France
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Le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA est un outil de pointe conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs qui assure une gravure et un dépôt contrôlés et uniformes. La chambre de procédé est conçue avec un tube en quartz à enveloppe étanche pour empêcher l'échappement des gaz, ainsi qu'un système innovant de support de substrat. Cela aide à maintenir un niveau plus élevé de propreté pendant le processus de gravure et de dépôt. AMAT CENTURA est équipé d'un système avancé de transfert de plaquettes piloté par robot, lui permettant de déplacer précisément les plaquettes vers et depuis la chambre pendant le processus de gravure et de dépôt. Ceci assure la précision et le contrôle maximum du matériau déposé. MATÉRIAUX APPLIQUÉS CENTURA dispose également d'un système d'injection de gaz de précision réglable qui permet un contrôle précis des gaz de gravure et des matériaux de dépôt. CENTURA est également capable de déposer une variété de films en utilisant une variété de procédés CVD, y compris des CVD basse pression, CVD haute pression, et des densités de gaz élevées. Cela peut être fait pour déposer des films aussi minces que 10nm et 0.1nm. Selon le procédé, le réacteur peut atteindre des taux de dépôt allant jusqu'à 200mm/min. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA peut également être utilisé pour des procédés de recuit et de refoulement, permettant son utilisation en conjonction avec une variété d'autres procédés de fabrication. Il est conçu pour minimiser la distorsion du substrat au cours du processus, ce qui garantira des performances cohérentes et de haute qualité. En outre, AMAT CENTURA peut être configuré pour être utilisé pour la gravure d'applications de plaquettes et de masques. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur CENTURA est également conçu avec une armoire de source avancée et polyvalente, permettant un contrôle strict des conditions de processus. Il comprend des préchauffeurs à gaz réglables et des systèmes de refroidissement, ainsi qu'un contrôle indépendant sur plusieurs canaux d'alimentation en gaz. De plus, l'armoire source peut être configurée avec des systèmes d'échappement et de vide supplémentaires afin de contrôler au maximum la sélectivité des gravures et la composition atomique. Dans l'ensemble, CENTURA est un outil de haute précision, fiable et flexible qui donne aux fabricants la précision et le contrôle dont ils ont besoin pour répondre à leurs défis technologiques, en s'assurant qu'ils obtiennent les produits les plus performants.
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