Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9122659 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA est un équipement de dépôt sous vide utilisé pour la fabrication de substrats semi-conducteurs, ou plaquettes. Il offre un environnement idéal pour diverses applications de procédés, y compris le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le dépôt physique en phase vapeur (PVD) et le dépôt en couche atomique (ALD). Le système est composé d'un certain nombre de composants dont une chambre de traitement sous vide, qui est la chambre de traitement principale, une source de dépôt Showerhead, une source de sublimation et une source cryo-mince. La chambre de traitement sous vide a une cote de vide de 10-8 Torr, et c'est la principale chambre de procédé où le dépôt des couches minces a lieu. Il est généralement enfermé dans un matériau céramique qui offre une stabilité supplémentaire et comprend un orifice de purge in situ pour évacuer les particules indésirables. Il comprend également des éléments chauffants, des régulateurs de température et une couverture d'azote cryogénique pour le contrôle de la température. La chambre de traitement sous vide a la hauteur, la largeur et la profondeur réglables pour permettre le dépôt sur mesure de couches minces. La source de dépôt de la tête de douche est une source de dépôt placée sur la chambre de traitement sous vide et utilisée pour le dépôt de couches minces uniformes. Il se compose d'un certain nombre de jets de buse réglables individuellement qui peuvent être réglés avec précision pour fournir des films uniformes d'épaisseur désirée. La source de sublimation est située entre la chambre de traitement sous vide et la source de dépôt de tête de douche et elle est utilisée pour le dépôt de films métalliques. Cette source utilise une plaque source chauffée pour vaporiser le métal puis le condense sur le substrat sous forme de couches minces. La source cryo-mince est une source de dépôt utilisée pour le dépôt uniforme de films métalliques sur le substrat. Il est placé entre la source de sublimation et la source de dépôt de tête de douche et il est généralement alimenté en azote liquide. Il est constitué d'une buse cryogénique et d'une plaque de fontaine chauffée qui est utilisée pour réduire la température des atomes métalliques, conduisant à leur dépôt uniforme sur le substrat. AMAT CENTURA est une unité de dépôt sous vide polyvalente qui peut être utilisée pour produire une large gamme de substrats semi-conducteurs haute performance avec une adhérence parfaite du film et une épaisseur uniforme. C'est une machine fiable et économique qui peut être utilisée pour obtenir un excellent dépôt en couches minces pour diverses applications.