Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9146407 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA est un réacteur haute performance pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés. Il est conçu pour créer efficacement des couches complexes et ultra-minces de matériau avec une uniformité exceptionnelle et des taux de défauts ultra bas. Cela rend AMAT CENTURA optimale pour la recherche et le développement de nouvelles technologies de semi-conducteurs ainsi que la production à grande échelle de technologies existantes. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Les caractéristiques de CENTURA commencent avec sa conception avancée. Il a une chambre de processus modulaire et la capacité d'incorporer une grande variété de systèmes d'échappement. Cela permet de l'utiliser dans de nombreux procédés et substrats de production différents, tels que des plaquettes de silicium et des écrans plats. CENTURA est également équipé d'un équipement de contrôle de formation avancé et d'un design universel de mandrin. Cela lui permet de contrôler avec précision un large éventail de paramètres de processus tels que la température, la pression et la vitesse de dépôt. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA est en outre équipé d'un système avancé de gestion des processus. Cela permet de stocker et de rappeler des recettes de processus de sources multiples, lui permettant de passer rapidement d'une recette de processus à une autre. En outre, il a la capacité de surveiller diverses variables de processus en temps réel pour assurer une performance optimale. Au cœur d'AMAT CENTURA se trouve sa source de plasma inductif à basse pression (ICP). Cette source de plasma est constituée d'une source de plasma à résonance cyclotron électronique (ECR) et d'une bobine magnétique. La source ECR crée une source de plasma très concentrée avec une faible consommation de gaz et un dépôt minimal de saleté sur le substrat. La machine à bobines magnétiques, qui comprend une cavité RF, permet une répartition homogène et des densités élevées d'ions dans le plasma. Ceci assure un dépôt uniforme sur l'ensemble du substrat. MATÉRIAUX APPLIQUÉS CENTURA est alors équipé d'un moniteur d'émission de filaments (FEM). Ceci détecte et surveille le flux de courant et la température du plasma ECR pour garantir une performance optimale du procédé. De plus, CENTURA dispose également d'un transfert automatisé des plaquettes et de bateaux amovibles, permettant un chargement et un déchargement rapides et efficaces des plaquettes. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA est un réacteur exceptionnellement avancé spécialement conçu pour répondre aux exigences les plus difficiles pour créer des couches sophistiquées et ultra-minces de matériaux avancés avec la plus haute qualité, performance, répétabilité, et des taux de défauts faibles. Avec sa conception et ses capacités avancées, AMAT CENTURA est un outil idéal pour la recherche et le développement ainsi que pour la production de masse des technologies de semi-conducteurs les plus avancées d'aujourd'hui.
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