Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9160524 à vendre en France
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AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA est un réacteur avancé de gravure à sec conçu pour offrir aux fabricants de semi-conducteurs des performances supérieures, une sécurité environnementale et des avantages en termes de réduction des coûts. Ce réacteur utilise des technologies de pointe de l'industrie pour effectuer la gravure, la gravure anisotrope et la gravure profonde des structures monocouches et multicouches avec une précision et une fiabilité exceptionnelles. L'équipement est construit à partir d'un corps en acier inoxydable durable et résistant à la corrosion, et ses faibles exigences de puissance, ses contrôles de processus contrôlés par des capteurs, ses capacités de débit élevées et ses fonctionnalités facultatives de surveillance et de contrôle des processus garantissent un fonctionnement efficace et des résultats précis. AMAT CENTURA est équipé d'une technologie de gravure de pointe, y compris des capacités de gravure à ultra haut rapport d'aspect (UHAR) ainsi que des alimentations à double fréquence. Cela permet des performances supérieures dans les gravures profondes et les fenêtres de processus plus grandes pour les matériaux difficiles à graver. Le système comprend également un obturateur ultra-rapide, ce qui réduit le temps de gravure et améliore le débit du processus. En outre, une technologie brevetée de mandrin électrostatique (ESC) permet une planarisation optimale et empêche les dommages aux rayons X de la plaquette pendant le traitement. MATÉRIAUX APPLIQUÉS CENTURA dispose de caractéristiques facultatives telles qu'un module PECVD pour l'oxydation rapide et la nitridation de la plaquette et un module avancé pour améliorer l'uniformité de gravure des oxydes. La machine dispose également de capacités avancées de cartographie des plaquettes et de surveillance des processus, permettant une visualisation directe du profil de gravure et de l'historique des processus. En outre, CENTURA est capable de détecter instantanément les problèmes de processus, ce qui permet de prendre immédiatement des mesures correctives. Pour assurer le plus haut niveau de sécurité et de fiabilité, AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA est équipé d'un outil de livraison et de contrôle du gaz en boucle fermée, d'un outil de correction automatisé de l'uniformité des processus de gravure au niveau des plaquettes et d'un modèle intégré de contrôle du processus pour la précision du maintien des paramètres critiques du processus. L'équipement comprend également un système de diagnostic plasma intégré pour aider à améliorer les performances de gravure, ainsi que le soutien de l'analyse avancée des processus pour détecter les erreurs ou les instabilités de processus. Enfin, AMAT CENTURA est conçu pour être à la fois convivial et rentable, et ses contrôles automatisés de processus, sa programmation facile à utiliser et ses options de maintenance rendent cette unité idéale pour une production courte et longue. Couplé à ses excellentes performances et fiabilité, APPLIED MATERIALS CENTURA est le choix idéal pour tout fabricant de semi-conducteurs à la recherche de la technologie de réacteur Dry-Etch.
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