Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9170825 à vendre en France
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ID: 9170825
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2002
CVD System, 8"
(4) Chambers
Type: Microwave
WSIX Optima
Fab interface: Front panel and GEM MCC
Load lock option: NBLL With 90° tilt out
Standard wafer mapping
Wafer sensor: Wafer out of cassette sensor (NBLL only, includes cass present sensor)
Manual transfer Ch hoist
Robot type: HP
Robot blade type: Metal (CES)
Vacuum facilities: Back end
Chambers A, B, C and D:
Chamber type: WxZ
Chamber process: WCVD
Endpoint
Standard TV
Standard Lid
Chamber E:
Type: Orienter
Chamber F:
Type: Cool down
Multi-slot cool down
OPTIMA System controller
Power service: Top
Monitors: TTW
System robot: HP
Gas panel type: Seriplex
Gas panel enclosure, 29"
G.P Facilities: Bottom feed SL (CES)
G.P Exhaust: Top
Gas line filters: Mott
BROOKS 6256 MFC
Backside cooling: Chamber A, B, C and D
Clean type: Microwave
(2) EMO's Mainframes
(2) EMO's Controllers
MF Exhaust: Top
Power service: Top
MFC Gasses:
Position A:
Size / Type
500 / N2
2000 / H2
30 / SIH4
30 / WF6
150 / NF3
3000 / AR
3000 / AR
500 / H2
Position B:
Size / Type
500 / N2
2000 / H2
30 / SIH4
30 / WF6
150 / NF3
3000 / AR
3000 / AR
500 / H2
Position C:
Size / Type
500 / N2
2000 / H2
30 / SIH4
30 / WF6
150 / NF3
3000 / AR
3000 / AR
500 / H2
Position D:
Size / Type
500 / N2
2000 / H2
30 / SIH4
30 / WF6
150 / NF3
3000 / AR
3000 / AR
500 / H2
Missing parts:
SBC Board
VGA Board
Floppy Disk Drive (FDD)
Center find board
Chamber E encoder motor
Chamber lid cover (All chamber)
ORIENTE Interface board and CCD board
Power supply: AC 208 V, 3 Phase, 320 A, 60 Hz
2002 vintage.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA est un réacteur très polyvalent et technologiquement avancé pour la fabrication de circuits intégrés (IC). Il est spécialement conçu pour améliorer la production de circuits intégrés à très grande échelle (VLSI) et d'autres technologies de procédé avancées. Le réacteur AMAT CENTURA a une conception unique qui permet à l'utilisateur d'intégrer un large éventail de technologies dans le processus d'assemblage. Il est basé sur une architecture modulaire qui utilise un ensemble de cadres modulaires de plate-forme pour personnaliser la configuration. Cela permet à l'utilisateur d'intégrer rapidement et avec précision plusieurs étapes de processus dans l'équipement. Le système est extrêmement convivial, permettant aux ingénieurs de commencer facilement le processus de fabrication en quelques minutes. Il offre également une plate-forme pour le développement de procédés et le prototypage de nouvelles technologies. Le cœur de l'unité est un réacteur multizone avancé qui facilite un large éventail de procédés. Il est capable de réaliser des processus de gravure sèche, de gravure humide, de dépôt et de pulvérisation. Les multiples zones thermiques du réacteur permettent également l'intégration de multiples procédés de fabrication à différentes températures. Le réacteur dispose également d'un contrôleur de température commandé par ordinateur afin que chaque zone de température puisse être contrôlée avec précision. La machine dispose également de plusieurs dispositifs de sécurité conçus pour assurer la sécurité du processus. Il comporte un module de service sous pression avec un outil de purge à l'azote et des soupapes de sécurité conçues pour assurer que la pression à l'intérieur du réacteur est dans des limites acceptables. De plus, l'actif dispose d'une source d'ions et d'un implanteur d'ions. Ceci permet à l'utilisateur d'effectuer divers processus d'implantation ionique qui sont utilisés pour modifier les propriétés électriques des IC en cours de fabrication. Le modèle comprend également plusieurs options d'automatisation. Cela comprend un équipement automatique d'échantillonnage et de collecte, un panneau de sécurité pour surveiller le processus, et un système de recette facile à utiliser. En résumé, le réacteur CENTURA est une unité puissante, polyvalente et technologiquement avancée pour la fabrication de circuits intégrés. Sa conception unique permet l'intégration de plusieurs étapes de processus et ses caractéristiques de sécurité garantissent la sécurité et la fiabilité de la machine.
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