Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9204753 à vendre en France
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ID: 9204753
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2010
Etcher, 12"
Process: Oxide
(3) Poly chambers
(1) Axiom chamber
(1) EFEM with KAWASAKI Robot
2010 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (PECVD) très avancé et polyvalent, très utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour la fabrication de circuits intégrés et d'autres dispositifs électroniques. Développée par AMAT Inc., un fournisseur leader d'équipements et de services pour l'industrie des semi-conducteurs, la plate-forme AMAT CENTURA offre un contrôle et une uniformité de processus exceptionnels, ce qui en fait un choix privilégié pour la fabrication à haut volume de dispositifs semi-conducteurs avancés. Au cœur du réacteur APPLIED MATERIALS CENTURA FACILITATEUR se trouve son architecture multi-chambres, qui permet le traitement séquentiel de plaquettes avec différents matériaux et chimies dans un environnement sous vide contrôlé. L'équipement se compose typiquement de plusieurs chambres de processus interconnectées par des chambres de serrure de charge, permettant un débit élevé et une manipulation efficace des plaquettes. Chaque chambre de procédé est équipée d'un ensemble de composants de pointe, y compris des sources de plasma, des systèmes de distribution de gaz, des unités de contrôle de la température et des mécanismes de manipulation des substrats, tous conçus pour assurer des processus de dépôt précis et reproductibles. Le réacteur CENTURA est capable de déposer une large gamme de couches minces sur des substrats semi-conducteurs, tels que des plaquettes de silicium, avec une grande homogénéité et qualité de film. Ces films peuvent servir à diverses fins dans la fabrication de semi-conducteurs, y compris la passivation, l'isolement, la barrière et les couches d'interconnexion, ainsi que les barrières de diffusion et les revêtements antireflet. La flexibilité du système APPLIED MATERIALS CENTURA permet le dépôt d'empilements multicouches complexes avec différentes compositions et épaisseurs de matériaux, permettant l'intégration de diverses fonctionnalités au sein d'un même dispositif. Une des caractéristiques clés du réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA FACILITATEUR est sa technologie avancée de génération de plasma, qui permet un contrôle précis des propriétés du plasma et améliore la qualité du dépôt de couches minces. L'unité utilise des sources de radiofréquence (RF) pour produire du plasma à partir de gaz de procédé, créant ainsi un environnement réactif qui facilite les réactions chimiques à la surface de la plaquette. Les paramètres plasmatiques, tels que la composition du gaz, les débits, les niveaux de puissance et la fréquence, peuvent être ajustés finement pour optimiser les propriétés du film, telles que la densité, l'indice de réfraction et la contrainte, pour des besoins spécifiques du dispositif. En outre, la plate-forme AMAT CENTURA FACILITATEUR intègre des capacités sophistiquées de surveillance et de contrôle des processus pour garantir des résultats de dépôt cohérents et reproductibles sur plusieurs plaquettes. Les diagnostics in situ, tels que la spectroscopie optique d'émission (OES) et l'ellipsométrie spectroscopique, fournissent une rétroaction en temps réel sur les conditions de processus, permettant des ajustements dynamiques pour optimiser les propriétés des films pendant le dépôt. De plus, des systèmes avancés de détection des points d'extrémité permettent un contrôle précis de l'épaisseur et de l'uniformité du film, assurant ainsi les caractéristiques de film souhaitées avec une grande précision. En conclusion, le réacteur CENTURA FACILITATEUR est un outil de pointe pour la fabrication de semi-conducteurs, offrant un contrôle de procédé exceptionnel, une polyvalence et un débit pour le dépôt de couches minces de haute qualité sur des substrats semi-conducteurs. Avec son architecture multi-chambres, sa technologie avancée de production de plasma et ses capacités robustes de surveillance des processus, la machine AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA permet aux fabricants de semi-conducteurs de répondre aux exigences exigeantes de la fabrication moderne de dispositifs tout en maintenant des niveaux élevés de productivité et de rendement.
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