Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9227315 à vendre en France
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Vendu
ID: 9227315
Taille de la plaquette: 8"
PVD Systems, 8"
Chambers:
ALCU
TTN
PCII
Orient degas
HEWLETT-PACKARD Robot
Wide body load lock.
Le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA est un système avancé de gravure et de dépôt à haute performance spécialement conçu pour permettre des résultats rapides, précis et rentables dans la production de substrats rigides, tels que le verre et le quartz, pour une variété de technologies émergentes. Dans le réacteur AMAT CENTURA, l'arroseur est livré avec un mélange de gaz au substrat par une filière tournante. Une série de barres de brûleur, positionnées au sommet de la chambre de procédé, fournissent l'énergie nécessaire à la décomposition et à la réaction des gaz. Le mélange de gaz réactifs chauffés est ensuite libéré sur le substrat, en gravant les couches indésirables. Ce procédé conduit à une surface gravée de haute précision avec des défauts de surface minimes qui a une excellente adhérence sur le substrat. En plus de la gravure, le réacteur APPLIED MATERIALS CENTURA peut également être utilisé pour le dépôt de couches de couches minces structurées ou le traitement de substrats dans le cas de dépôt de couches minces. Le procédé de dépôt en couches minces commence par un dépôt en phase vapeur très contrôlé du matériau désiré sur le substrat, qui est ensuite gravé à l'aide du même procédé de gravure utilisé pour la gravure. Cela permet la création de couches très minces riches en métaux avec le plus haut degré d'uniformité et de précision. Le réacteur CENTURA est conçu pour une sécurité et une intégrité de traitement maximales. Le débit de gaz à haute température est surveillé et régulé par des soupapes d'échappement spéciales. L'atmosphère riche en azote à l'intérieur de la chambre de traitement est strictement surveillée pour limiter le risque de contamination. En outre, des caractéristiques comme la chambre d'oxydation supplémentaire et l'environnement de la salle blanche garantissent que les résultats de la plus haute qualité sont atteints dans la production. AMAT/APPLIED MATERIALS Le réacteur CENTURA est équipé d'un contrôleur et d'un logiciel de pointe, avec fonctionnement sur panneau tactile et fonctionnement à distance complet. Cela permet aux utilisateurs de créer facilement des recettes de la manière la plus efficace. Il offre également une gamme de recettes adaptées à diverses applications, ainsi que la capacité de stocker et de rappeler des recettes au besoin. Le contrôle avancé du système assure le plus haut niveau de productivité, tout en permettant le contrôle et la répétabilité des processus. Dans l'ensemble, le réacteur AMAT CENTURA est un excellent dispositif de gravure et de dépôt de divers matériaux sur un substrat rigide. Ses performances précises, son fonctionnement fiable et ses capacités de contrôle efficaces en font un choix idéal pour des environnements de production modernes.
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