Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9250769 à vendre en France
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ID: 9250769
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2009
Oxide etcher, 12"
(3) Enabler chambers
RF Generator rack
AC Rack
Missing parts:
GHW50A
(3) B5002
EFEM
Buffer chamber
RF Generators
Robot
2009 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le catalyseur Centura est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) conçu pour une gamme de procédés semi-conducteurs. Il permet la croissance de couches minces et de couches barrière à partir de précurseurs CVD pour former des structures complexes et fines sur une variété de substrats de pièces. AMAT Centura Facilitateur dispose d'une chambre de processus avancée et monobloc qui est capable de s'adapter facilement à la rampe rapide de température. Cette chambre permet une uniformité de 0,3 ° C sur l'ensemble de la plaquette, ce qui permet d'améliorer les performances et la fiabilité des processus. Le facilitateur est équipé d'une conception de contrôle de température Flex - une fonctionnalité brevetée qui crée un environnement sans oxygène réduisant la contamination et prolongeant la durée de vie des plaquettes. Cette technologie permet un contrôle précis de la température sans compromettre la précision de la dimension critique du processus (CD). Les capacités de traitement thermique de la pièce sont augmentées avec APPLIED MATERIALS Centura Facilitler, car il permet la livraison précise de gaz pour une large gamme de procédés tout en assurant un contrôle sans précédent de la température du substrat. Le réacteur est également équipé d'un panneau de gaz duplex et d'une vanne de gaz multi-sources à grande vitesse, qui sont tous deux entièrement personnalisables pour répondre au mieux aux besoins de l'environnement de fabrication. Centura Facilitler intègre une boucle de contrôle PID avancée pour gérer la température et la pression du four. Cette boucle de commande est réglable pour optimiser les performances à haute et basse température et assure un contrôle précis de la température lors du dépôt des matériaux. Le réacteur dispose également d'une source de plasma basse pression et d'une télécommande plasma. Cela permet un contrôle précis du plasma et l'utilisation d'une grande variété de produits chimiques. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Facilitler est conçu avec une productivité élevée et est équipé d'un système de cyclage thermique rapide. Cela permet un chauffage rapide et un temps de rafraîchissement, permettant aux utilisateurs d'augmenter le débit de production. Le réacteur intègre également la technologie des chambres de procédés parallèles pour supporter de multiples procédés. AMAT Centura Facilitateur est idéal pour les fabs de prototypes et de production cherchant à augmenter le rendement et la fiabilité. Avec ses caractéristiques complètes et flexibles, il est un outil inestimable pour l'industrie moderne des semi-conducteurs.
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