Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9282471 à vendre en France
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ID: 9282471
System
(5) AMAT Enabler
(3) Chamber Enabler
(1) Generator rack
(1) EFEM with YASKAWA Robot
VHP Robot
TDK Loadport.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Leverler est un réacteur polyvalent conçu pour une gamme de procédés avancés. Il est doté d'une forme de quartz-poudre avancée qui le rend idéal pour les procédés à haute température et les profils de surface ultra-plats. Il offre également un faible coût, un faible entretien et une grande fiabilité. Le facilitateur a été conçu avec une variété de caractéristiques pour répondre aux exigences de haute fonction, processus de grande complexité, comme la croissance de l'oxyde à basse température et la gravure du cuivre. Le facilitateur possède également des capacités avancées telles que le dépôt sous vide, l'électrochimie, l'oxydation thermique, la gravure, le dépôt de métaux et le dépôt de couches minces. Le Facilitateur est conçu pour tirer le meilleur parti d'une seule chambre. Il a une faible empreinte et de faibles coûts d'exploitation. Le Facilitateur est capable de faire des fonctionnalités de haute qualité avec les résultats les plus reproductibles. Par exemple, lorsque vous utilisez le Facilitateur pour des processus en couches minces, il est possible de créer des structures d'une largeur allant jusqu'à 37 nm et présentant à la fois un contrôle de la largeur de ligne et une fidélité aux dimensions critiques. Le facilitateur fournit également des processus à très haut débit et à basse température. Sa conception combine une grande précision et un accès multi-chambres pour des processus parallèles. Ceci permet de créer des surfaces plus grandes et des structures complexes qui seraient autrement difficiles à réaliser. Ceci est particulièrement utile pour les procédés de niveau de plaquettes tels que les diélectriques, qui peuvent être déposés à des vitesses allant jusqu'à 270 nm/min. Le Facilitateur dispose également d'un contrôle intégré des processus, qui permet une utilisation élevée des actifs du processus. Il offre également un contrôle logiciel convivial pour assurer une intégration transparente des paramètres du processus. Ceci assure un fonctionnement logiciel cohérent, et permet le contrôle des lacunes et l'uniformité des substrats. Le Facilitateur est hautement capable, ce qui en fait un choix idéal pour une gamme de processus avancés. Sa conception et ses caractéristiques en font un excellent choix tant pour les processus établis que pour la recherche ou le développement. Ses capacités, associées à un faible coût, à une faible maintenance et à une grande fiabilité, en font un excellent choix pour une gamme d'applications.
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