Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9288113 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA est un réacteur multi-chambres spécialement conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'un outil en grappes à deux étages qui fournit des processus de gravure et de dépôt de plasma dans une seule machine. Les chambres de procédés sont disposées dans une configuration « cluster » qui permet d'exécuter différents procédés en même temps, permettant une production à des caractéristiques plus petites, un plus grand débit, et des rendements améliorés. AMAT CENTURA est équipé de technologies avancées de gravure et de dépôt de plasma, adaptées aux besoins spécifiques des clients. Sa chambre de gravure de plasma est équipée de procédés de dépôt chimique en phase vapeur (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), qui peuvent être optimisés pour maximiser l'uniformité, le débit et la précision géométrique des couches. En outre, APPLIED MATERIALS CENTURA fournit également une capacité supplémentaire de contrôle à la volée pendant le processus de gravure, ce qui est essentiel dans la production de dispositifs avancés. La chambre de dépôt est principalement utilisée pour le dépôt de couches épaisses d'oxydes de silicium et d'oxydes dopés, mais d'autres procédés de dépôt peuvent également être gérés sur CENTURA. Le dépôt est effectué soit à l'aide du procédé TEOS (Tetraéthylorthosilicate), soit à l'aide du procédé ALD (Atomic Layer Deposition), et peut également être adapté aux besoins spécifiques des clients. La couche de dépôt peut varier de 100 à 1000 angströms et peut être ajustée pour obtenir des uniformités et des rendements de procédé plus élevés. En plus de ses capacités en tant que réacteur de dépôt et de gravure, AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA offre également certaines caractéristiques spéciales, notamment un remontoir photorésistant avancé (APR) pour l'élimination des résidus de gravure, un système de contrôle de la contamination (CCS) pour le contrôle de l'environnement dans la chambre, et un contrôle automatisé des procédés (APC) qui surveille et maintient les conditions du processus. AMAT CENTURA est un outil très polyvalent et efficace qui est capable de produire des couches de dispositifs de très haute qualité avec des rendements de processus qui sont considérablement améliorés par rapport aux outils traditionnels. Ses capacités de dépôt et de gravure de haute précision, son système avancé de contrôle de la contamination et son contrôle automatisé des processus garantissent des résultats fiables et cohérents dans divers domaines d'application. En conséquence, APPLIED MATERIALS CENTURA est bien adapté pour la production d'appareils haute fréquence avec les architectures d'appareils les plus avancées.
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