Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9312776 à vendre en France
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Vendu
ID: 9312776
Taille de la plaquette: 6"
System, 6"
WxZ Tungsten chamber
Etch back chamber, WxZ.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA est un réacteur multi-chambres conçu pour des applications de traitement avancé. Il convient au traitement d'un large éventail de tâches exigeantes, y compris la croissance par épitaxie, la gravure, la gravure sèche et le dépôt de métal. AMAT CENTURA est un équipement de série, c'est-à-dire hautement fiable et efficace. Le réacteur est composé d'une chambre de source indépendante, d'une chambre de traitement et d'une chambre de verrouillage de charge. Il dispose d'un design dynamique, avec des zones chaudes qui sont optimisées pour un large éventail de processus. Les systèmes de contrôle et d'isolation de la chambre assurent un fonctionnement sûr et protègent l'environnement du processus. MATÉRIAUX APPLIQUÉS CENTURA offre de multiples zones de chauffage et de refroidissement qui peuvent être utilisées pour modifier rapidement la température de chaque chambre de procédé, permettant une stabilité thermique optimale. De plus, un chauffe-plaquettes arrière permet une température uniforme, évitant les points chauds et d'autres problèmes de fiabilité. CENTURA est également capable de contrôler la pression dans les chambres. Il utilise un principe d'écoulement continu et un système de contrôle de pression auto-compensateur. Cela garantit que l'environnement du procédé est stable et que le processus de gravure est uniforme. Le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA offre également plusieurs outils de contrôle des procédés pour assurer l'uniformité et améliorer les performances des procédés. Avec ces outils, les utilisateurs peuvent surveiller le débit de gaz, contrôler la température du substrat et ajuster les valeurs de pression. De plus, les systèmes automatisés intégrés de manutention des plaquettes permettent aux utilisateurs de transférer rapidement et facilement des plaquettes entre les chambres. En outre, le réacteur AMAT CENTURA est équipé d'une unité de sûreté et de maintenance robuste. Cette machine comprend des fonctionnalités telles que la protection automatique contre la surcharge, les opérations contrôlées par des capteurs, les diagnostics de fin d'exploitation et un outil de maintenance prédictive. Cela permet aux utilisateurs de s'assurer que leur réacteur fonctionne toujours à des performances de pointe et leur donne l'assurance que leurs résultats de processus sont tels que spécifiés. Dans l'ensemble, APPLIED MATERIALS CENTURA est un réacteur fiable et efficace conçu pour des applications complexes et à haut débit. Il offre de nombreux outils de contrôle des processus et des systèmes automatisés de manutention des plaquettes pour les utilisateurs de gérer facilement différents processus. De plus, son solide atout en matière de sûreté et de maintenance donne aux utilisateurs la confiance que leur réacteur sera efficace et produira des résultats fiables.
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