Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for Centura #293663175 à vendre en France
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AMAT Centura Chamber est un réacteur de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) utilisé pour diverses applications, telles que le dépôt de cellules solaires à couches minces, de dispositifs de stockage de mémoire, de technologie d'affichage et de cellules photovoltaïques. La chambre est constituée d'une chambre de réaction, d'une chambre source, d'une chambre à paramètres et d'une chambre à atmosphère contrôlée. La chambre de réaction contient le porte-substrat et est le composant le plus important de la chambre. Il est chauffé par une lampe infrarouge avec une plage de température réglable allant de la température ambiante à 350 degrés Celsius. La chambre est conçue pour un débit élevé, et elle peut traiter jusqu'à 800 substrats à la fois, selon la taille de la chambre. Il a une fenêtre en quartz sur le dessus pour permettre la visualisation du processus de dépôt. La chambre source est utilisée pour introduire les réactifs nécessaires au dépôt et est située en dessous de la chambre de réaction. Il contient un injecteur et est chauffé jusqu'à 250 degrés Celsius pour permettre aux réactifs de se vaporiser. Les vapeurs de réactif chauffé se dirigent vers la chambre de réaction à partir de la chambre source, où elles sont ensuite déposées sur le substrat. La chambre des paramètres est utilisée pour surveiller et contrôler le processus de dépôt et la température est contrôlée de la température ambiante à 250 degrés Celsius. Enfin, la chambre à atmosphère contrôlée gère l'atmosphère dans la chambre pendant le processus de dépôt et peut passer d'atmosphères inertes à des atmosphères actives. Cela est important pour obtenir des résultats constants de haute qualité et reproductibles. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La chambre Centura est un réacteur CVD avancé conçu pour les hautes performances et la répétabilité dans les applications de dépôt en couches minces. En offrant un contrôle à la fois polyvalent et précis du processus de dépôt, la chambre est devenue un outil précieux pour les designers du monde entier.
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