Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for Endura CL #293660732 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS Chambre pour Endura CL est un réacteur spécialement conçu pour l'application de dépôt chimique en phase vapeur, ou CVD, dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Cette chambre haute performance offre une grande variété de capacités de processus, permettant aux fabricants de puces de créer des semi-conducteurs fiables et durables. Cette chambre du réacteur dispose d'un équipement à flux de gaz intense et de systèmes de contrôle thermique avancés, permettant un contrôle optimal et précis du processus de dépôt. Ces mêmes systèmes permettent un contrôle précis de la température et de la pression, une consistance chimique et une contamination minimale. La chambre en acier inoxydable présente également une conception isolée en double plénum, éliminant le besoin d'une soufflante. Cela réduit les pressions. AMAT Chamber for Endura CL utilise également un processus multi-zone, qui garantit que chaque zone de processus est correctement équipée avec l'environnement, les fournitures et les protocoles de contrôle appropriés. Ceci assure une vitesse de dépôt uniforme et un processus prévisible. La chambre présente également un design avancé de tête de douche pour assurer des distributions homogènes de plaques parallèles et gazeuses, ainsi qu'une buse à arc plasma de 16 sections pour une distribution uniforme des précurseurs. La chambre a une taille globale de 6,8 (Longueur) x 5,2 (Largeur) x 6 (Hauteur) pieds et un poids de 9 500 lb Il peut être monté sur place dans deux configurations alternatives, en ligne ou autonome, et est conçu pour une facilité d'entretien avec un accès avancé fourni par de multiples ports et panneaux de diagnostic. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Chambre pour Endura CL a prouvé sa sécurité avec le système exclusif de sécurité renforcée sous pression. Ceci évite que les événements de surpression de chambre ne sortent de la plage de fonctionnement, ainsi que la protection de l'unité de vide et des composants de chambre. La conception globale de Chambre pour Endura CL en fait un outil précieux pour la fabrication de puces à haut rendement. Ses conceptions et technologies sophistiquées en font la machine à battre pour les processus de dépôt chimique en phase vapeur.
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