Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 #293621288 à vendre en France

ID: 293621288
Taille de la plaquette: 8"
8" Process: Nitride.
AMAT/APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 est un réacteur polyvalent conçu pour un large éventail d'applications de dépôt et de gravure de matériaux. Il dispose d'une grande chambre à vide, avec un diamètre de 18 pouces et une longueur de 24 pouces. La chambre peut atteindre une pression de base inférieure à 5,0 x 10-9 Torr, lorsqu'elle est associée au système de pompage approprié. Il est également équipé d'un système automatisé de purge des capuchons de décollage, afin de minimiser les dégazages et d'améliorer les résultats de traitement. AMAT P5000 Chamber est équipé d'un système d'introduction de gaz de procédé (PGIS) qui fournit jusqu'à trois vannes entièrement contrôlables avec des commandes de débit indépendantes et des vannes de mélange. Cela permet un contrôle précis des processus de dépôt et de gravure, permettant de multiples recettes de processus pour différents matériaux et applications. La chambre dispose également de source de plasma électromagnétique (pulsé) et de systèmes de plasma à commande informatique rapide (RPC), qui peuvent être utilisés pour créer des processus plasma avancés, tout en fournissant une uniformité et un contrôle de processus supérieurs. AMAT Chamber for P5000 est également équipé de capacités de chauffage et de refroidissement multi-zones, permettant un contrôle serré des processus. Il comprend plusieurs chauffages à double molybdène et des parois en quartz pour la stabilité thermique, ainsi que des ports d'eau de refroidissement pour maintenir la température de la chambre pendant les processus de haute puissance. La chambre P5000 est conçue pour faciliter l'entretien et prolonger la durée de vie avec un minimum de temps d'arrêt. Il comprend un moniteur de chambre autonome pour surveiller l'uniformité des dépôts et la fonctionnalité des chambres de traitement. La chambre comprend également une gamme de fonctions de sécurité, telles qu'un grand port de visualisation CCD externe, une jauge ionique, et de nombreux emboîtements de sécurité. En combinant la technologie de pointe dans APPLIED MATERIALS Chamber for P5000, avec sa large gamme de recettes de procédés et ses capacités de traitement de précision, il est un choix idéal pour les applications de dépôt et de gravure de matériaux. Grâce à sa structure bien conçue, il assure un traitement des matériaux de qualité supérieure de manière efficace et fiable.
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