Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 #9255084 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 AMAT/APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 est un réacteur sous vide multimode à haut rendement utilisé pour de nombreux procédés dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est utilisé pour la gravure, le dépôt et le recuit de plaquettes. Il est équipé d'un équipement sous vide avancé, de systèmes avancés de distribution d'énergie et de gaz, et d'un contrôleur intégré. La chambre P5000 assure un contrôle efficace et précis des conditions de réaction, y compris la pression, la température et la composition des gaz. Le système P5000 dispose d'une chambre à vide scellée à haute température. Cette chambre a une conception à double porte pour assurer une isolation efficace contre les gaz thermiques et de traitement. Les parois de la chambre sont en quartz capable de résister aux hautes températures et à l'intensité du procédé. La chambre a un volume intérieur de 5,9 litres et peut être scellée à une pression de base de 10 − 6Torr. La chambre P5000 utilise des pompes à procédés avancés, des régulateurs de débit massique et des vannes de distribution de gaz pour réguler avec précision les flux de gaz et les pressions. Les régulateurs de débit massique assurent un contrôle précis des débits de gaz et du mélange en ligne de gaz multiples. La chambre P5000 est équipée d'une unité d'alimentation avancée. Il comprend une source RF plane avec une large gamme de fréquences de 50 Hz-1 MHz, et une source de filament chaud avec une gamme de fréquences allant jusqu'à 4 MHz. La machine de distribution de puissance permet un contrôle précis des niveaux de puissance et l'uniformité du plasma, permettant des processus de gravure ionique réactifs uniformes. L'outil P5000 dispose également d'un régulateur de température haute résolution avec la possibilité de ramper la température jusqu'à 1000 ° C Le contrôleur intégré de l'actif P5000 permet un fonctionnement facile et efficace du réacteur. Son interface à écran tactile lui permet d'accéder facilement aux tâches, et ses options de programmation avancées permettent un contrôle optimal des processus. Le P5000 est également équipé de divers dispositifs de sécurité tels que le contrôle de pression, la détection de décrochage et la protection thermique. AMAT/APPLIED MATERIALS/AMAT P5000 Chamber est une solution polyvalente et fiable pour de nombreux procédés dans l'industrie des semi-conducteurs. Ses systèmes avancés de distribution de vide, de puissance et de gaz, son contrôleur intégré et ses dispositifs de sécurité permettent d'assurer un contrôle efficace et précis des processus. Le P5000 est capable d'effectuer la gravure, le dépôt, le recuit et d'autres procédés sur une variété de plaquettes.