Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 #9377276 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Chambre est une cellule de travail d'équipement de procédé conçue spécifiquement pour effectuer une variété de processus de microfabrication. Il s'agit d'un équipement robuste et de haute précision conçu pour des applications potentielles importantes telles que la nanolithographie, la croissance des nanomatériaux et le prototypage des dispositifs. Ses caractéristiques d'ingénierie et de conception en font une chambre idéale pour les processus complexes, de longue durée et à haut débit. AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Chambre est une chambre verticale qui est équipée d'une cryopump et d'une pompe d'appoint mécanique. Il a une source brevetée, à double anneau, unidirectionnelle ICP et une pression de fonctionnement sous vide allant de rude à ultra-haute. Deux ports de bombardement ionique et deux boucliers Faraday sont positionnés sur les parties supérieure et inférieure de la chambre. La chambre a un couvercle supérieur amovible pour un accès facile au chargement des plaquettes et la plaque de base peut être ouverte du haut ou du bas. L'ensemble de la chambre peut être fermé par une porte coulissante verticale qui scelle la chambre et son environnement extérieur. La chambre est hautement configurable, offrant diverses options pour le chargement et le déchargement d'échantillons, y compris des systèmes manuels, automatisés d'échange cassette-cassette et de changement de substrat in situ. Il peut supporter une variété de systèmes de gaz tels que des contrôleurs multi-éléments-ion ou de débit massique ou un système de stockage mono-gaz. En outre, la chambre P5000 comprend un contrôleur intégré d'unité sous vide (ISC) avec une machine de chauffage « intelligente », qui permet l'intégration de l'ablation laser, le recuit thermique rapide, et d'autres traitements à haute température. La chambre P5000 est conçue pour une utilisation avec une grande variété de procédés tels que dépôt physique en phase vapeur, pulvérisation, CVD, évaporation, gravure, dépôt, nanolithographie, implantation de particules, et plus encore. Les caractéristiques de la chambre, de même que sa construction et son design, offrent un environnement idéal pour les processus à haut volume. Il offre également une durée de vie prolongée, une fiabilité, des coûts d'entretien faibles et un outil de roulement hydrostatique de haute qualité. AMAT APPLIED MATERIALS P5000 Chamber est une chambre avancée et haute performance conçue pour une utilisation dans une variété de procédés de microfabrication. Il offre une efficacité exceptionnelle, une durée de vie prolongée, une variété de configurations et la capacité de contrôler avec précision les paramètres du processus et les conditions environnementales. En tant que tel, il est un choix idéal pour les applications nécessitant des résultats de haute précision.
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