Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Chambers for Centura eMax #293664215 à vendre en France

ID: 293664215
Parts to be removed: P/N / Description 3620-00273 / ALCATEL ACT 1300M / 1600M Turbo controller 3620-00182 / ALCATEL ATH 1600M Turbo pump 0190-22967 / Analog I/O boards.
AMAT Centura eMax est une chambre pour le traitement des plaquettes. C'est un équipement fiable et robuste qui offre une large gamme de capacités de processus et de répétabilité. Cette chambre dispose d'une pression de base de 1,0 x 10-6 Torr, et peut facilement accueillir une large gamme de plaquettes allant jusqu'à 8 pouces de diamètre. La chambre eMax se compose d'une plaque de base en aluminium avec un chauffe-plaquettes intégré, une plaque supérieure, un orifice d'évacuation, et le mandrin électrostatique. L'alimentation, le régulateur de température, le chargeur de plaquettes et le déchargeur font tous partie du système intégré. Le réchauffeur à plaquettes fournit une température stable pour la plaquette avec un maximum de 250 ° C, permettant une large gamme de processus exotiques. La chambre eMax utilise un mandrin électrostatique unique pour assurer une application uniforme de la force électrostatique sur la surface de la plaquette. Cela permet un niveau exceptionnel d'uniformité et de répétabilité car il garantit que la plaquette est bien maintenue en place pendant le processus. En outre, la machine comprend également un outil automatisé de distribution de gaz pour assurer un contrôle précis de l'environnement de processus in situ. Cela garantit que la chambre est maintenue à la température et à la pression requises, et que le mélange gazeux approprié est disponible pour le procédé. L'actif de centrage des plaquettes bidimensionnel assure que les plaquettes sont toujours centrées pendant le traitement, assurant la stabilité des plaquettes et une uniformité maximale. Le régulateur de dose intégré permet une mesure et un contrôle rapides et précis de la dose. Enfin, la chambre est conviviale et peut être facilement entretenue. Le modèle de surveillance avancé et l'interface utilisateur permettent de visualiser facilement les données en temps réel et de prendre des mesures correctives au besoin. L'interface est également personnalisable afin qu'elle puisse être adaptée aux besoins individuels de l'utilisateur. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La chambre Centura eMax est un équipement fiable et robuste pour le traitement des plaquettes. Son large éventail de capacités, sa répétabilité et sa facilité d'utilisation en font un système idéal pour toute application.
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